HFCVD0606

Вакуумная камера для нанесения покрытий методом химического осаждения из газовой фазы имеет независимую двухслойную конструкцию с водяным охлаждением, обеспечивающую эффективное и равномерное охлаждение, а также безопасную и стабильную работу. Оборудование оснащено двойными дверями, множеством смотровых окон и многочисленными разъемами для подключения дополнительных периферийных устройств, таких как инфракрасные датчики температуры, спектральный анализ, видеомониторинг и термопары. Передовая концепция конструкции упрощает и облегчает ежедневный ремонт и техническое обслуживание, изменение конфигурации и модернизацию оборудования, эффективно снижая эксплуатационные расходы и затраты на обновление.

Характеристики оборудования:

1. Компоненты оборудования для нагнетания газа в основном включают в себя расходомер, электромагнитный клапан и резервуар для смешивания газов, что обеспечивает точное регулирование потока технологического газа, равномерное смешивание и безопасную изоляцию различных газов, а также позволяет выбирать компоненты газовой системы для использования в качестве источника сжиженного газа, облегчает индивидуальный выбор широкого спектра источников жидкого углерода и обеспечивает безопасное использование синтетического проводящего алмаза и электродных источников жидкого бора.
2. Установка для отвода воздуха оснащена бесшумным и эффективным роторно-лопастным вакуумным насосом и турбомолекулярной насосной системой, позволяющей быстро создавать условия высокого вакуума. Для измерения вакуума используется комбинированный вакуумметр с резистивным и ионизационным датчиками, а также емкостная пленочная система, позволяющая измерять давление различных технологических газов в широком диапазоне. Давление осаждения полностью автоматически регулируется высокоточным пропорциональным регулирующим клапаном.
3. Компонент охлаждающей воды оснащен многоканальным датчиком давления, расхода и температуры воды, а также программным обеспечением для автоматического мониторинга. Различные компоненты системы охлаждения независимы друг от друга, что облегчает быструю диагностику неисправностей. Все ответвления имеют независимые клапанные переключатели, что обеспечивает безопасность и эффективность.
4. Компоненты электрического управления оснащены большими ЖК-экранами человеко-машинного интерфейса и взаимодействуют с полностью автоматическим управлением ПЛК, что облегчает редактирование и импорт технологических формул. Графическая кривая визуально отображает изменения и значения различных параметров, а параметры оборудования и процесса автоматически записываются и архивируются для облегчения поиска неисправностей и статистического анализа данных.
5. Стеллаж для заготовок оснащен сервомотором для управления подъемом и опусканием стола для подложки. Можно выбрать стол для подложки из графита или красной меди. Температура измеряется термопарой.
6. Компоненты стеллажа могут быть спроектированы как в целом, так и по отдельности в соответствии с требованиями заказчика для удовлетворения особых потребностей клиентов в перемещении грузов.
7. Компоненты уплотнительной пластины красивы и элегантны. Уплотнительные пластины в различных функциональных модулях оборудования можно быстро разобрать или открывать и закрывать независимо друг от друга, что очень удобно в использовании.

Оборудование для химического осаждения из газовой фазы с использованием горячей нити подходит для нанесения алмазных материалов, включая тонкопленочные покрытия, самоподдерживающиеся толстопленочные покрытия, микрокристаллический и нанокристаллический алмаз, проводящий алмаз и т. д. Оно в основном используется для износостойких защитных покрытий твердосплавных режущих инструментов, полупроводниковых материалов, таких как кремний и карбид кремния, теплоотводящих покрытий для устройств, легированных бором проводящих алмазных электродов, озонирования электролитической воды или очистки сточных вод.