Lub tshuab nqus tsev txheej ntawm cov khoom siv tso pa tshuaj siv cov qauv dej txias ob txheej ywj pheej, uas ua haujlwm tau zoo thiab sib xws hauv kev txias, thiab muaj cov qauv ruaj khov thiab ruaj khov. Cov khoom siv tau tsim nrog ob lub qhov rooj, ntau lub qhov rais saib xyuas thiab ntau qhov sib txuas, uas yooj yim rau kev sib txuas sab nraud ntawm cov khoom siv pabcuam xws li kev ntsuas kub infrared, kev tshuaj xyuas spectral, kev saib xyuas video thiab thermocouple. Lub tswv yim tsim qauv siab heev ua rau kev kho dua tshiab thiab kev saib xyuas txhua hnub, kev hloov kho thiab kev txhim kho ntawm cov khoom siv yooj yim thiab yooj yim, thiab txo cov nqi siv thiab kev txhim kho.
Cov yam ntxwv ntawm cov khoom siv:
1. Cov khoom siv ntawm cov khoom siv feem ntau suav nrog lub ntsuas cua loj, lub qhov dej solenoid thiab lub tank sib tov roj, uas ua kom muaj kev tswj hwm qhov tseeb ntawm cov txheej txheem roj ntws, kev sib tov sib xws thiab kev cais tawm ntawm cov pa roj sib txawv, thiab tuaj yeem xaiv cov khoom siv roj rau kev siv cov kua roj, pab txhawb kev xaiv tus kheej ntawm ntau yam kua carbon, thiab kev siv cov pob zeb diamond thiab electrode kua boron kom muaj kev nyab xeeb.
2. Lub tshuab nqus cua no muaj lub twj tso kua mis rotary vane uas ntsiag to thiab ua haujlwm tau zoo thiab lub tshuab nqus cua turbo molecular uas tuaj yeem ua tau raws li qhov chaw nqus cua siab sai sai. Lub tshuab nqus cua composite nrog lub ntsuas qhov tsis kam thiab lub ntsuas ionization siv rau kev ntsuas qhov nqus cua, nrog rau lub kaw lus capacitive film uas tuaj yeem ntsuas qhov siab ntawm cov pa roj sib txawv hauv ntau yam. Lub siab tso pa tawm yog tswj hwm tag nrho los ntawm lub qhov tswj hwm proportional siab.
3. Cov khoom siv dej txias muaj ntau txoj kev ntsuas dej, ntsuas dej ntws, ntsuas kub thiab software saib xyuas tsis siv neeg. Cov khoom siv txias sib txawv yog ywj pheej ntawm ib leeg, uas yooj yim rau kev kuaj mob sai. Txhua ceg muaj cov qhov hloov valve ywj pheej, uas muaj kev nyab xeeb thiab ua haujlwm tau zoo.
4. Cov khoom siv tswj hluav taws xob siv lub vijtsam loj loj ntawm tib neeg-tshuab interface LCD thiab koom tes nrog PLC tswj hwm tag nrho los pab txhawb kev kho thiab xa cov txheej txheem. Cov duab kos qhia pom kev hloov pauv thiab tus nqi ntawm ntau yam kev teeb tsa, thiab cov khoom siv thiab cov txheej txheem cov txheej txheem raug kaw thiab khaws cia kom yooj yim nrhiav teeb meem thiab txheeb xyuas cov ntaub ntawv.
5. Lub txee ua haujlwm muaj lub cev muaj zog servo los tswj kev tsa thiab txo qis ntawm lub rooj substrate. Lub rooj graphite lossis liab tooj liab substrate tuaj yeem xaiv tau. Qhov kub yog ntsuas los ntawm lub thermocouple.
6. Cov khoom khib nyiab tuaj yeem tsim los ua ib qho tag nrho lossis cais raws li cov neeg siv khoom xav tau kom ua tau raws li cov kev cai tshwj xeeb ntawm cov neeg siv khoom.
7. Cov khoom sib khi ntawm lub phaj kaw zoo nkauj thiab zoo nkauj. Cov phaj kaw hauv cov chaw ua haujlwm sib txawv ntawm cov khoom siv tuaj yeem rhuav tshem sai lossis qhib thiab kaw ntawm nws tus kheej, uas yooj yim heev rau siv.
Cov khoom siv CVD kub filament yog qhov tsim nyog rau kev tso cov ntaub ntawv pob zeb diamond, suav nrog cov txheej txheej nyias nyias, cov zaj duab xis tuab uas txhawb nqa tus kheej, pob zeb diamond microcrystalline thiab nanocrystalline, pob zeb diamond conductive, thiab lwm yam. Nws yog siv rau kev tiv thaiv kev hnav-resistant tiv thaiv cov cuab yeej txiav cemented carbide, cov ntaub ntawv semiconductor xws li silicon thiab silicon carbide, cov txheej txheem cua sov dissipation ntawm cov khoom siv, boron doped conductive pob zeb diamond electrode, ozone disinfection ntawm electrolytic dej lossis dej phwj tuaj kho.
| Cov qauv xaiv tau | qhov loj ntawm lub chamber sab hauv |
| HFCVD0606 | φ600 * H600 (hli) |