HFCVD0606

Химик пар урнаштыру җиһазларының вакуум каплау камерасы бәйсез ике катламлы суыту структурасын куллана, ул нәтиҗәле һәм бердәм суыту, куркынычсыз һәм тотрыклы структурага ия. Җиһазлар икеләтә ишекләр, күп күзәтү тәрәзәләре һәм күп киңәйтү интерфейслары белән эшләнгән, бу инфракызыл температураны үлчәү, спектраль анализ, видеокүзәтү һәм термопара кебек ярдәмче периферия җайланмаларын тышкы тоташтыру өчен уңайлы. Алдынгы дизайн концепциясе җиһазларны көндәлек ремонтлау һәм хезмәт күрсәтү, конфигурацияне үзгәртү һәм яңартуны җиңел һәм гади итә, шулай ук ​​куллану һәм яңарту чыгымнарын нәтиҗәле рәвештә киметә.

Җиһазларның үзенчәлекләре:

1. Җиһазларның тутыру компонентларына, нигездә, масса агымын үлчәү җайланмасы, соленоид клапан һәм газ катнаштыру багы керә, алар процесс газы агымын төгәл контрольдә тотуны, төрле газларны бердәм катнаштыруны һәм куркынычсыз изоляцияләүне тәэмин итә, шулай ук ​​сыек газ чыганагын куллану өчен газ системасы компонентларын сайлый ала, төрле сыек углерод чыганакларын шәхси сайлауны җиңеләйтә, һәм синтетик үткәргеч алмаз һәм электродлы сыек бор чыганакларын куркынычсыз куллана ала.
2. Һава чыгару җайланмасы тавышсыз һәм нәтиҗәле әйләндергеч канатлы вакуум насосы һәм югары вакуум фонындагы мохиткә тиз арада туры килә алырлык турбомолекуляр насос системасы белән җиһазландырылган. Вакуумны үлчәү өчен каршылык һәм ионизация үлчәгече булган композит вакуум үлчәгече, шулай ук ​​төрле процесс газларының басымын киң диапазонда үлчи алырлык сыйдырышлы пленка үлчәгеч системасы кулланыла. Чөкмә басымы югары төгәллекле пропорциональ контроль клапаны белән тулысынча автоматик рәвештә идарә ителә.
3. Суыту суы компоненты күп каналлы су басымын, агымын, температураны үлчәү һәм программа тәэминаты белән автоматик күзәтү белән җиһазландырылган. Төрле суыту компонентлары бер-берсеннән бәйсез, бу тиз арада җитешсезлекләрне диагностикалау өчен уңайлы. Барлык тармакларда да бәйсез клапан күчергечләре бар, бу куркынычсыз һәм нәтиҗәле.
4. Электр белән идарә итү компонентлары зур күләмле кеше-машина интерфейсы LCD экранын кулланалар һәм процесс формуласын редакцияләү һәм импортлауны җиңеләйтү өчен PLC тулы автоматик идарә итү белән хезмәттәшлек итәләр. График кәкре сызык төрле параметрларның үзгәрешләрен һәм кыйммәтләрен визуаль рәвештә күрсәтә, ә җиһазлар һәм процесс параметрлары автоматик рәвештә теркәлә һәм архивлана, бу проблемаларны күзәтүне һәм мәгълүматларны статистик анализлауны җиңеләйтә.
5. Эшкәрткечләр өчен стеллаж сервомотор белән җиһазландырылган, ул нигез өстәлен күтәрү һәм төшерүне контрольдә тота. Графит яки кызыл бакыр нигез өстәлен сайларга мөмкин. Температура термопара белән үлчәнә.
6. Стеллаж компонентлары клиентларның махсус эшкәртү таләпләрен канәгатьләндерү өчен, клиент таләпләренә туры китереп, тулысынча яки аерым эшләнергә мөмкин.
7. Тыгызлау пластинасының компонентлары матур һәм нәфис. Җиһазның төрле функциональ модуль өлкәләрендәге тыгынлау пластиналарын тиз сүтеп алырга яки аерым рәвештә ачып-ябып була, бу куллану өчен бик уңайлы.

Кайнар җепселле CVD җиһазлары алмаз материалларын, шул исәптән юка пленкалы каплау, үз-үзен тотучы калын пленка, микрокристалл һәм нанокристалл алмаз, үткәргеч алмаз һ.б. урнаштыру өчен яраклы. Ул, нигездә, цементланган карбид кисү коралларын, кремний һәм кремний карбиды кебек ярымүткәргеч материалларны, җайланмаларны җылылык тарату каплавын, бор белән легирланган үткәргеч алмаз электродын, электролитик суны озон белән дезинфекцияләү яки канализация суларын чистарту өчен кулланыла.