HFCVD0606

Камераи пӯшиши вакуумии таҷҳизоти буғгузории кимиёвӣ сохтори мустақили дуқабатаи хунуккунии обро истифода мебарад, ки самаранок ва якхела хунуккунӣ буда, сохтори бехатар ва устувор дорад. Таҷҳизот бо дарҳои дугона, тирезаҳои сершумори мушоҳида ва интерфейсҳои сершумори васеъкунӣ тарҳрезӣ шудааст, ки барои пайвасти берунаи дастгоҳҳои ёрирасон, аз қабили ченкунии ҳарорати инфрасурх, таҳлили спектрӣ, мониторинги видеоӣ ва термоҷуфт қулай аст. Консепсияи пешрафтаи тарроҳӣ таъмир ва нигоҳдории ҳаррӯза, тағир додани конфигуратсия ва навсозии таҷҳизотро осон ва содда мегардонад ва хароҷоти истифода ва навсозиро самаранок кам мекунад.

Хусусиятҳои таҷҳизот:

1. Ҷузъҳои инфлятсионии таҷҳизот асосан аз ченкунаки ҷараёни масса, клапани соленоидӣ ва зарфи омехтаи газ иборатанд, ки назорати дақиқи ҷараёни гази раванд, омехтаи яксон ва ҷудокунии бехатари газҳои гуногунро таъмин мекунанд ва метавонанд ҷузъҳои системаи газро барои истифодаи манбаи гази моеъ интихоб кунанд, интихоби фардии доираи васеи манбаъҳои карбони моеъ ва истифодаи бехатари манбаъҳои борҳои моеъи алмосӣ ва электродӣ осон кунанд.
2. Маҷмӯи истихроҷи ҳаво бо насоси вакуумии гардиши хомӯш ва самаранок ва системаи насоси турбомолекулавӣ муҷаҳҳаз шудааст, ки метавонад ба муҳити заминаи вакуумии баланд зуд ҷавобгӯ бошад. Барои ченкунии вакуум, инчунин системаи ченкунии плёнкаи иқтидор истифода мешавад, ки метавонад фишори газҳои гуногуни коркардро дар диапазони васеъ чен кунад. Фишори таҳшиншавӣ пурра ба таври худкор тавассути клапани идоракунии мутаносиб бо дақиқии баланд идора карда мешавад.
3. Қисмати оби хунуккунӣ бо фишори об, ҷараён, андозагирии ҳарорат ва назорати автоматии нармафзори бисёрканалӣ муҷаҳҳаз шудааст. Қисмҳои гуногуни хунуккунӣ аз якдигар мустақиланд, ки барои ташхиси зуди ноқисӣ қулай аст. Ҳамаи шохаҳо калидҳои мустақили клапан доранд, ки бехатар ва самаранок мебошанд.
4. Қисмҳои идоракунии барқӣ экрани LCD-и интерфейси одам-мошинро истифода мебаранд ва бо идоракунии пурраи худкори PLC ҳамкорӣ мекунанд, то таҳрир ва воридоти формулаи равандро осон кунанд. Каҷхати графикӣ тағйирот ва арзишҳои параметрҳои гуногунро ба таври визуалӣ нишон медиҳад ва параметрҳои таҷҳизот ва раванд ба таври худкор сабт ва бойгонӣ карда мешаванд, то пайгирии мушкилот ва таҳлили омории маълумотро осон кунанд.
5. Рафи қисмати корӣ бо муҳаррики серво муҷаҳҳаз шудааст, ки бардоштан ва паст кардани мизи субстратро идора мекунад. Мизи субстрати графитӣ ё мисии сурхро интихоб кардан мумкин аст. Ҳарорат бо истифода аз термоҷуфт чен карда мешавад.
6. Қисмҳои раф метавонанд мувофиқи талаботи муштарӣ пурра ё алоҳида тарҳрезӣ карда шаванд, то ба талаботи махсуси коркарди муштариён ҷавобгӯ бошанд.
7. Қисмҳои пластинаи мӯҳркунӣ зебо ва шево мебошанд. Пластинаҳои мӯҳркунӣ дар минтақаҳои гуногуни модули функсионалии таҷҳизот метавонанд зуд ҷудо карда шаванд ё мустақилона кушода ва пӯшида шаванд, ки истифодааш хеле қулай аст.

Таҷҳизоти CVD-и филаменти гарм барои гузоштани маводҳои алмос, аз ҷумла пӯшиши плёнкаи тунук, плёнкаи ғафси худтаъминкунанда, алмоси микрокристаллӣ ва нанокристаллӣ, алмоси ноқилӣ ва ғайра мувофиқ аст. Он асосан барои пӯшиши муҳофизатии тобовар ба фарсудашавии асбобҳои буридани карбиди сементӣ, маводҳои нимноқилӣ ба монанди кремний ва карбиди кремний, пӯшиши гармии дастгоҳҳо, электроди алмоси ноқилӣ бо допинг бо бор, безараргардонии озонии оби электролитӣ ё коркарди канализатсия истифода мешавад.