HFCVD0606

Палатаи пӯшиши вакууми таҷҳизоти таҳшинкунии буғи химиявӣ сохтори мустақили дуқабатаи об хунуккуниро қабул мекунад, ки дар хунуккунӣ самаранок ва якхела аст ва сохтори бехатар ва устувор дорад.Таҷҳизот бо дарҳои дукарата, тирезаҳои сершумори мушоҳида ва интерфейсҳои васеъкунӣ тарҳрезӣ шудааст, ки барои пайвасти берунии таҷҳизоти ёрирасон, аз қабили андозагирии ҳарорати инфрасурх, таҳлили спектралӣ, мониторинги видео ва термопара қулай аст.Консепсияи пешрафтаи тарроҳӣ таъмир ва нигоҳдории ҳамарӯза, тағир додани конфигуратсия ва навсозии таҷҳизотро осон ва содда мекунад ва хароҷоти истифода ва такмилро самаранок коҳиш медиҳад.

Хусусиятҳои таҷҳизот:

1.Қисмҳои таваррум аз таҷҳизот асосан дар бар мегирад, ки ҷараёни масса, клапани электромагнитӣ ва зарфи омехтаи газ, ки назорати дақиқи ҷараёни гази раванд, омехтаи якхела ва изолятсияи бехатари газҳои гуногунро таъмин мекунанд ва метавонанд ҷузъҳои системаи газро барои истифодаи манбаи гази моеъ, осон кардани интихоби фардии доираи васеи манбаҳои карбон моеъ ва истифодаи бехатари алмоси гузаронандаи синтетикӣ ва манбаъҳои бор моеъи электрод.
2.The калисо истихроҷи ҳаво аст, ки бо як насоси чангкашак ротари ва самаранок ва системаи насоси турбо молекулавӣ, ки ба зудӣ метавонад муҳити замина вакууми баланди ҷавобгӯ муҷаҳҳаз.Барои ченкунии вакуум ченаки муқовимат ва ионизатсия ченаки вакууми таркибӣ, инчунин системаи ченаки плёнка, ки метавонад фишори газҳои гуногуни равандро дар доираи васеъ чен кунад, истифода мешавад.Фишори таҳшинкунӣ аз ҷониби клапани назорати мутаносиби дақиқи баланд комилан автоматӣ идора карда мешавад.
3.Ҷузъи оби хунуккунӣ бо фишори бисёр канали об, ҷараён, андозагирии ҳарорат ва мониторинги автоматии нармафзор муҷаҳҳаз шудааст.Қисмҳои гуногуни хунуккунӣ аз ҳамдигар новобастаанд, ки барои ташхиси зуди хатогӣ қулай аст.Ҳама филиалҳо гузаргоҳҳои мустақили клапан доранд, ки бехатар ва самаранок мебошанд.
4.Қисмҳои назорати электрикӣ экрани LCD-и интерфейси бузурги инсон-мошинро қабул мекунанд ва бо назорати пурраи автоматии PLC барои осон кардани таҳрир ва воридоти формулаи раванд ҳамкорӣ мекунанд.Каҷи графикӣ тағирот ва арзишҳои параметрҳои гуногунро ба таври визуалӣ нишон медиҳад ва таҷҳизот ва параметрҳои раванд ба таври худкор сабт ва бойгонӣ карда мешаванд, то пайгирии мушкилот ва таҳлили омори маълумотро осон кунанд.
5.The rack workpiece аст, ки бо муҳаррики servo муҷаҳҳаз барои назорати бардоштан ва паст кардани мизи субстрат.Ҷадвали субстрати миси графит ё сурхро интихоб кардан мумкин аст.Ҳарорат тавассути термопара чен карда мешавад.
6.The rack ҷузъҳои мумкин аст дар маҷмӯъ ё алоҳида аз рӯи талаботи муштарӣ тарҳрезӣ барои қонеъ кардани талаботи коркарди махсуси мизоҷон.
7. Ҷузъҳои таблиғи мӯҳр зебо ва шево мебошанд.Плитаҳои мӯҳр дар минтақаҳои гуногуни функсионалии модули таҷҳизот метавонанд мустақилона ба зудӣ ҷудо карда шаванд ё кушода ва баста шаванд, ки барои истифода хеле қулай аст.

Таҷҳизоти филами гарми CVD барои гузоштани маводи алмос, аз ҷумла рӯйпӯши филми борик, филми ғафси худкор, алмоси микрокристаллӣ ва нанокристалӣ, алмоси гузаронанда ва ғайра мувофиқ аст. Он асосан барои пӯшидани муҳофизати фарсудашавии асбобҳои буриши карбиди сементшуда, маводи нимноқил истифода мешавад. монанди кремний ва карбиди кремний, руйпуш кардани гармии дастгоххо, электроди алмоси гузаронандаи бор, безараргардонии озон аз оби электролитикй ё тозакунии канализация.