HFCVD0606

Kimyoviy bug'larni cho'ktirish uskunasining vakuumli qoplama kamerasi samarali va bir xil sovutishga ega bo'lgan, xavfsiz va barqaror tuzilishga ega bo'lgan mustaqil ikki qavatli suv sovutish tizimidan foydalanadi. Uskunalar qo'shaloq eshiklar, bir nechta kuzatuv oynalari va bir nechta kengaytirish interfeyslari bilan ishlab chiqilgan bo'lib, bu infraqizil haroratni o'lchash, spektral tahlil, video monitoring va termojuft kabi yordamchi periferik qurilmalarni tashqi ulanish uchun qulaydir. Ilg'or dizayn konsepsiyasi uskunani kundalik ta'mirlash va texnik xizmat ko'rsatish, konfiguratsiyani o'zgartirish va yangilashni oson va sodda qiladi hamda foydalanish va yangilash xarajatlarini samarali ravishda kamaytiradi.

Uskunaning xususiyatlari:

1. Uskunaning shishiruvchi komponentlari asosan massa oqim o'lchagichi, solenoid klapan va gaz aralashtirish idishini o'z ichiga oladi, ular jarayon gaz oqimini aniq boshqarishni, turli gazlarni bir xil aralashtirish va xavfsiz izolyatsiya qilishni ta'minlaydi va suyuq gaz manbaidan foydalanish uchun gaz tizimi komponentlarini tanlashi, keng turdagi suyuq uglerod manbalarini shaxsiylashtirishni osonlashtirishi va sintetik o'tkazuvchan olmos va elektrodli suyuq bor manbalaridan xavfsiz foydalanishni ta'minlaydi.
2. Havo chiqarish moslamasi jim va samarali aylanuvchi qanotli vakuum nasosi va yuqori vakuum fon muhitiga tezda moslasha oladigan turbo molekulyar nasos tizimi bilan jihozlangan. Vakuumni o'lchash uchun qarshilik o'lchagichi va ionlanish o'lchagichi bo'lgan kompozit vakuum o'lchagichi, shuningdek, turli xil jarayon gazlarining bosimini keng diapazonda o'lchay oladigan sig'imli plyonka o'lchagich tizimi qo'llaniladi. Cho'kma bosimi yuqori aniqlikdagi proporsional boshqaruv klapani tomonidan to'liq avtomatik boshqariladi.
3. Sovutish suvi komponenti ko'p kanalli suv bosimi, oqimi, harorati o'lchash va dasturiy ta'minot avtomatik monitoringi bilan jihozlangan. Turli sovutish komponentlari bir-biridan mustaqil bo'lib, bu nosozliklarni tezkor tashxislash uchun qulaydir. Barcha tarmoqlarda mustaqil klapanli kalitlar mavjud, bu esa xavfsiz va samarali.
4. Elektr boshqaruv komponentlari katta o'lchamli odam-mashina interfeysi LCD ekranidan foydalanadi va jarayon formulasini tahrirlash va import qilishni osonlashtirish uchun PLC to'liq avtomatik boshqaruv bilan hamkorlik qiladi. Grafik egri chiziq turli parametrlarning o'zgarishi va qiymatlarini vizual ravishda ko'rsatadi va uskunalar va jarayon parametrlari muammolarni kuzatish va ma'lumotlarni statistik tahlil qilishni osonlashtirish uchun avtomatik ravishda qayd etiladi va arxivlanadi.
5. Ish qismi tokchasi substrat stolini ko'tarish va tushirishni boshqarish uchun servo motor bilan jihozlangan. Grafit yoki qizil mis substrat stolini tanlash mumkin. Harorat termojuft bilan o'lchanadi.
6. Raf komponentlari mijozlarning maxsus ishlov berish talablarini qondirish uchun mijozlar talablariga muvofiq to'liq yoki alohida ishlab chiqilishi mumkin.
7. Muhrlash plastinkasining komponentlari chiroyli va oqlangan. Uskunaning turli funktsional modul sohalaridagi muhrlash plitalarini tezda qismlarga ajratish yoki mustaqil ravishda ochish va yopish mumkin, bu esa ulardan foydalanish uchun juda qulay.

Issiq filamentli CVD uskunalari yupqa plyonkali qoplama, o'z-o'zini ushlab turuvchi qalin plyonka, mikrokristalli va nanokristalli olmos, o'tkazuvchan olmos va boshqalarni o'z ichiga olgan olmos materiallarini yotqizish uchun javob beradi. U asosan sementlangan karbid kesish asboblarini, kremniy va kremniy karbid kabi yarimo'tkazgich materiallarni, qurilmalarni issiqlik tarqalish qoplamasini, bor bilan qoplangan o'tkazuvchan olmos elektrodini, elektrolitik suvni ozon bilan dezinfeksiya qilishni yoki oqova suvlarni tozalashni amalga oshirish uchun ishlatiladi.