HFCVD0606

Chumba cha mipako ya utupu cha vifaa vya kuhifadhi mvuke wa kemikali kinatumia muundo huru wa kupoeza maji wenye tabaka mbili, ambao ni mzuri na sare katika kupoeza, na una muundo salama na thabiti. Vifaa vimeundwa kwa milango miwili, madirisha mengi ya uchunguzi na violesura vingi vya upanuzi, ambavyo ni rahisi kwa muunganisho wa nje wa vifaa vya ziada kama vile kipimo cha joto cha infrared, uchambuzi wa spektri, ufuatiliaji wa video na thermocouple. Wazo la muundo wa hali ya juu hufanya ukarabati na matengenezo ya kila siku, mabadiliko ya usanidi na uboreshaji wa vifaa kuwa rahisi na rahisi, na hupunguza kwa ufanisi gharama za matumizi na uboreshaji.

Vipengele vya vifaa:

1. Vipengele vya mfumuko wa bei vya vifaa hasa vinajumuisha mita ya mtiririko wa wingi, vali ya solenoidi na tanki la kuchanganya gesi, ambavyo vinahakikisha udhibiti sahihi wa mtiririko wa gesi ya mchakato, mchanganyiko sare na utenganishaji salama wa gesi tofauti, na vinaweza kuchagua vipengele vya mfumo wa gesi kwa matumizi ya chanzo cha gesi kioevu, kuwezesha uteuzi wa kibinafsi wa vyanzo mbalimbali vya kaboni kioevu, na matumizi salama ya vyanzo vya almasi na elektrodi kioevu boroni.
2. Kifaa cha kutolea hewa kina pampu ya utupu ya rotary vane isiyo na sauti na yenye ufanisi na mfumo wa pampu ya molekuli ya turbo ambayo inaweza kukidhi haraka mazingira ya mandharinyuma ya utupu wa juu. Kipimo cha utupu cha mchanganyiko chenye kipimo cha upinzani na kipimo cha ioni hutumika kwa kipimo cha utupu, pamoja na mfumo wa kipimo cha filamu cha capacitive ambao unaweza kupima shinikizo la gesi tofauti za michakato katika anuwai pana. Shinikizo la uwekaji hudhibitiwa kiotomatiki kikamilifu na vali ya udhibiti sawia yenye usahihi wa hali ya juu.
3. Sehemu ya maji ya kupoeza ina vifaa vya shinikizo la maji la njia nyingi, mtiririko, kipimo cha halijoto na ufuatiliaji otomatiki wa programu. Vipengele tofauti vya kupoeza havitegemei kila kimoja, jambo ambalo ni rahisi kwa utambuzi wa haraka wa hitilafu. Matawi yote yana swichi za vali huru, ambazo ni salama na zenye ufanisi.
4. Vipengele vya udhibiti wa umeme vinatumia skrini kubwa ya LCD ya kiolesura cha mwanadamu na mashine na vinashirikiana na udhibiti kamili wa kiotomatiki wa PLC ili kurahisisha uhariri na uingizaji wa fomula ya mchakato. Mkunjo wa picha unaonyesha mabadiliko na thamani za vigezo mbalimbali, na vigezo vya vifaa na mchakato hurekodiwa na kuhifadhiwa kiotomatiki ili kuwezesha ufuatiliaji wa matatizo na uchambuzi wa takwimu za data.
5. Raki ya kazi ina mota ya servo ili kudhibiti kuinua na kushusha meza ya substrate. Jedwali la grafiti au jekundu la shaba linaweza kuchaguliwa. Halijoto hupimwa kwa thermocouple.
6. Vipengele vya raki vinaweza kubuniwa kizima au kando kulingana na mahitaji ya mteja ili kukidhi mahitaji maalum ya utunzaji wa wateja.
7. Vipengele vya sahani ya kuziba ni nzuri na maridadi. Sahani za kuziba katika maeneo tofauti ya moduli za utendaji kazi za vifaa zinaweza kuvunjwa au kufunguliwa na kufungwa haraka kwa kujitegemea, jambo ambalo ni rahisi sana kutumia.

Vifaa vya CVD vya nyuzi joto vinafaa kwa ajili ya kuweka vifaa vya almasi, ikiwa ni pamoja na mipako nyembamba ya filamu, filamu nene inayojitegemeza, almasi ndogo ya fuwele na nanofuwele, almasi inayopitisha umeme, n.k. Hutumika hasa kwa mipako ya kinga inayostahimili uchakavu ya vifaa vya kukata kabidi iliyotiwa saruji, vifaa vya nusu-semiconductor kama vile kabidi ya silikoni na silikoni, mipako ya vifaa vya kutoweka kwa joto, elektrodi ya almasi inayopitisha umeme iliyochanganywa na boroni, kuua vijidudu kwa ozoni kwa maji ya elektroliti au matibabu ya maji taka.