রাসায়নিক বাষ্প জমাটকরণ যন্ত্রের ভ্যাকুয়াম কোটিং চেম্বারে একটি স্বাধীন দ্বি-স্তরীয় জল-শীতলীকরণ কাঠামো ব্যবহার করা হয়েছে, যা শীতলীকরণে দক্ষ ও সুষম এবং এর একটি নিরাপদ ও স্থিতিশীল কাঠামো রয়েছে। যন্ত্রটি ডাবল ডোর, একাধিক পর্যবেক্ষণ জানালা এবং একাধিক সম্প্রসারণ ইন্টারফেস সহ ডিজাইন করা হয়েছে, যা ইনফ্রারেড তাপমাত্রা পরিমাপ, বর্ণালী বিশ্লেষণ, ভিডিও পর্যবেক্ষণ এবং থার্মোকাপলের মতো সহায়ক পেরিফেরালগুলির বাহ্যিক সংযোগের জন্য সুবিধাজনক। এই উন্নত ডিজাইন ধারণাটি যন্ত্রটির দৈনন্দিন ওভারহোল ও রক্ষণাবেক্ষণ, কনফিগারেশন পরিবর্তন এবং আপগ্রেডকে সহজ ও সরল করে তোলে এবং কার্যকরভাবে ব্যবহার ও আপগ্রেড খরচ হ্রাস করে।
সরঞ্জামের বৈশিষ্ট্য:
১. সরঞ্জামটির ইনফ্লেশন উপাদানগুলোর মধ্যে প্রধানত মাস ফ্লো মিটার, সোলেনয়েড ভালভ এবং গ্যাস মিক্সিং ট্যাঙ্ক অন্তর্ভুক্ত, যা প্রসেস গ্যাস প্রবাহের সঠিক নিয়ন্ত্রণ, সুষম মিশ্রণ এবং বিভিন্ন গ্যাসের নিরাপদ পৃথকীকরণ নিশ্চিত করে। এটি তরল গ্যাস উৎস ব্যবহারের জন্য গ্যাস সিস্টেমের উপাদান নির্বাচন করতে দেয়, যা বিভিন্ন ধরনের তরল কার্বন উৎসের ব্যক্তিগত পছন্দ অনুযায়ী নির্বাচনকে সহজ করে এবং সিন্থেটিক পরিবাহী হীরা ও ইলেকট্রোড তরল বোরন উৎসের নিরাপদ ব্যবহার নিশ্চিত করে।
২. বায়ু নিষ্কাশন অ্যাসেম্বলিটি একটি নীরব ও দক্ষ রোটারি ভেইন ভ্যাকুয়াম পাম্প এবং একটি টার্বো মলিকুলার পাম্প সিস্টেম দ্বারা সজ্জিত, যা দ্রুত উচ্চ ভ্যাকুয়াম ব্যাকগ্রাউন্ড পরিবেশের চাহিদা মেটাতে পারে। ভ্যাকুয়াম পরিমাপের জন্য রেজিস্ট্যান্স গেজ এবং আয়োনাইজেশন গেজ সহ কম্পোজিট ভ্যাকুয়াম গেজ ব্যবহার করা হয়, পাশাপাশি ক্যাপাসিটিভ ফিল্ম গেজ সিস্টেমও রয়েছে যা একটি বিস্তৃত পরিসরে বিভিন্ন প্রসেস গ্যাসের চাপ পরিমাপ করতে পারে। উচ্চ-নির্ভুল প্রপোর্শনাল কন্ট্রোল ভালভ দ্বারা ডিপোজিশন চাপ সম্পূর্ণরূপে স্বয়ংক্রিয়ভাবে নিয়ন্ত্রিত হয়।
৩. শীতলীকরণ জল ব্যবস্থাটি বহু-চ্যানেল জলচাপ, প্রবাহ, তাপমাত্রা পরিমাপ এবং সফটওয়্যার স্বয়ংক্রিয় পর্যবেক্ষণ দ্বারা সজ্জিত। বিভিন্ন শীতলীকরণ উপাদান একে অপরের থেকে স্বাধীন, যা দ্রুত ত্রুটি নির্ণয়ের জন্য সুবিধাজনক। প্রতিটি শাখায় স্বাধীন ভালভ সুইচ রয়েছে, যা নিরাপদ এবং কার্যকর।
৪. বৈদ্যুতিক নিয়ন্ত্রণ উপাদানগুলিতে বড় আকারের ম্যান-মেশিন ইন্টারফেস এলসিডি স্ক্রিন ব্যবহার করা হয় এবং এটি পিএলসি-র সম্পূর্ণ স্বয়ংক্রিয় নিয়ন্ত্রণের সাথে কাজ করে, যা প্রসেস ফর্মুলার সম্পাদনা এবং আমদানিকে সহজ করে তোলে। গ্রাফিক্যাল কার্ভটি বিভিন্ন প্যারামিটারের পরিবর্তন এবং মান দৃশ্যমানভাবে প্রদর্শন করে এবং সরঞ্জাম ও প্রসেসের প্যারামিটারগুলো স্বয়ংক্রিয়ভাবে রেকর্ড ও আর্কাইভ করা হয়, যা সমস্যা চিহ্নিতকরণ এবং ডেটার পরিসংখ্যানগত বিশ্লেষণকে সহজ করে।
৫. সাবস্ট্রেট টেবিলের ওঠানো-নামানো নিয়ন্ত্রণের জন্য ওয়ার্কপিস র্যাকে একটি সার্ভো মোটর লাগানো থাকে। গ্রাফাইট বা লাল তামার সাবস্ট্রেট টেবিল বেছে নেওয়া যেতে পারে। একটি থার্মোকাপলের সাহায্যে তাপমাত্রা পরিমাপ করা হয়।
৬. গ্রাহকদের বিশেষ পরিচালন চাহিদা মেটাতে, তাদের প্রয়োজন অনুসারে র্যাকের উপাদানগুলো সম্পূর্ণভাবে অথবা আলাদাভাবে ডিজাইন করা যেতে পারে।
৭. সিলিং প্লেটের উপাদানগুলো সুন্দর ও মার্জিত। যন্ত্রটির বিভিন্ন কার্যকরী মডিউল এলাকার সিলিং প্লেটগুলো দ্রুত খুলে ফেলা যায় অথবা স্বাধীনভাবে খোলা ও বন্ধ করা যায়, যা ব্যবহারে অত্যন্ত সুবিধাজনক।
হট ফিলামেন্ট সিভিডি সরঞ্জাম ডায়মন্ড উপাদান জমা করার জন্য উপযুক্ত, যার মধ্যে রয়েছে থিন ফিল্ম কোটিং, সেলফ-সাপোর্টিং থিক ফিল্ম, মাইক্রোক্রিস্টালাইন ও ন্যানোক্রিস্টালাইন ডায়মন্ড, পরিবাহী ডায়মন্ড ইত্যাদি। এটি প্রধানত সিমেন্টেড কার্বাইড কাটিং টুলের ক্ষয়-প্রতিরোধী প্রতিরক্ষামূলক কোটিং, সিলিকন ও সিলিকন কার্বাইডের মতো সেমিকন্ডাক্টর উপাদান, ডিভাইসের তাপ অপচয়কারী কোটিং, বোরন ডোপড পরিবাহী ডায়মন্ড ইলেকট্রোড, ইলেক্ট্রোলাইটিক জলের ওজোন জীবাণুমুক্তকরণ বা পয়ঃনিষ্কাশন শোধনের জন্য ব্যবহৃত হয়।
| ঐচ্ছিক মডেল | অভ্যন্তরীণ চেম্বারের আকার |
| এইচএফসিভিডি০৬০৬ | φ৬০০*H৬০০(মিমি) |