HFCVD0606

La cámara de recubrimiento al vacío del equipo de deposición química en fase vapor adopta una estructura independiente de refrigeración por agua de doble capa, que proporciona una refrigeración eficiente y uniforme, además de una estructura segura y estable. El equipo está diseñado con puertas dobles, múltiples ventanas de observación y múltiples interfaces de expansión, lo que facilita la conexión externa de periféricos auxiliares como la medición de temperatura por infrarrojos, el análisis espectral, la videovigilancia y los termopares. El concepto de diseño avanzado simplifica las revisiones y el mantenimiento diarios, así como los cambios de configuración y las actualizaciones del equipo, reduciendo eficazmente los costes de uso y actualización.

Características del equipo:

1. Los componentes de inflado del equipo incluyen principalmente un medidor de flujo másico, una válvula solenoide y un tanque de mezcla de gases, que garantizan el control preciso del flujo de gas del proceso, la mezcla uniforme y el aislamiento seguro de diferentes gases, y pueden seleccionar componentes del sistema de gas para el uso de una fuente de gas líquido, facilitando la selección personalizada de una amplia gama de fuentes de carbono líquido y el uso seguro de diamante conductor sintético y fuentes de boro líquido de electrodo.
2. El sistema de extracción de aire está equipado con una bomba de vacío rotativa de paletas silenciosa y eficiente, y un sistema de bomba turbomolecular que permite alcanzar rápidamente el alto nivel de vacío. Para la medición del vacío se utiliza un manómetro de vacío compuesto con manómetro de resistencia y manómetro de ionización, así como un sistema de manómetro de película capacitiva que permite medir la presión de diferentes gases de proceso en un amplio rango. La presión de deposición se controla de forma totalmente automática mediante una válvula de control proporcional de alta precisión.
3. El sistema de refrigeración por agua cuenta con medición multicanal de presión, caudal y temperatura, además de monitorización automática por software. Los diferentes componentes de refrigeración son independientes entre sí, lo que facilita el diagnóstico rápido de fallos. Todas las derivaciones disponen de interruptores de válvula independientes, lo que garantiza seguridad y eficiencia.
4. Los componentes de control eléctrico incorporan una pantalla LCD de interfaz hombre-máquina de gran tamaño y, en conjunto con el control automático PLC, facilitan la edición e importación de fórmulas de proceso. La gráfica muestra visualmente los cambios y valores de diversos parámetros, y los parámetros del equipo y del proceso se registran y archivan automáticamente para facilitar la detección de problemas y el análisis estadístico de datos.
5. El soporte de la pieza de trabajo está equipado con un servomotor para controlar el ascenso y descenso de la mesa de sustrato. Se puede seleccionar una mesa de sustrato de grafito o de cobre rojo. La temperatura se mide mediante un termopar.
6. Los componentes del bastidor pueden diseñarse en su conjunto o por separado según los requisitos del cliente para satisfacer las necesidades especiales de manipulación de los clientes.
7. Los componentes de la placa de sellado son bonitos y elegantes. Las placas de sellado en las diferentes áreas del módulo funcional del equipo se pueden desmontar rápidamente o abrir y cerrar de forma independiente, lo que resulta muy práctico.

El equipo CVD de filamento caliente es adecuado para depositar materiales de diamante, incluyendo recubrimientos de película delgada, películas gruesas autosoportadas, diamante microcristalino y nanocristalino, diamante conductor, etc. Se utiliza principalmente para recubrimientos protectores resistentes al desgaste de herramientas de corte de carburo cementado, materiales semiconductores como silicio y carburo de silicio, recubrimientos de disipación de calor para dispositivos, electrodos de diamante conductor dopado con boro y desinfección con ozono de agua electrolítica o tratamiento de aguas residuales.