HFCVD0606

Ruang palapis vakum tina alat déposisi uap kimia ngagunakeun struktur pendingin cai lapisan ganda anu mandiri, anu efisien sareng seragam dina pendinginan, sareng gaduh struktur anu aman sareng stabil. Alat-alat ieu dirancang kalayan panto ganda, sababaraha jandéla observasi sareng sababaraha antarmuka ékspansi, anu merenah pikeun sambungan éksternal periferal bantu sapertos pangukuran suhu infra red, analisis spéktral, monitoring vidéo sareng termokopel. Konsép desain anu canggih ngajantenkeun perbaikan sareng pangropéa sadidinten, parobihan konfigurasi sareng pamutahiran alat gampang sareng saderhana, sareng sacara efektif ngirangan biaya panggunaan sareng pamutahiran.

Fitur-fitur pakakas:

1. Komponén inflasi alat-alat utamina kalebet méter aliran massa, klep solenoid sareng tangki pencampuran gas, anu mastikeun kontrol aliran gas prosés anu akurat, pencampuran anu seragam sareng isolasi anu aman tina rupa-rupa gas, sareng tiasa milih komponén sistem gas pikeun panggunaan sumber gas cair, ngagampangkeun pilihan pribadi tina rupa-rupa sumber karbon cair, sareng panggunaan sumber boron cair inten konduktif sintétis sareng éléktroda anu aman.
2. Rakitan ékstraksi hawa dilengkepan ku pompa vakum baling-baling putar anu jempé sareng efisien sareng sistem pompa molekuler turbo anu tiasa gancang nyumponan lingkungan latar tukang vakum anu luhur. Alat ukur vakum komposit kalayan alat ukur résistansi sareng alat ukur ionisasi dianggo pikeun pangukuran vakum, ogé sistem alat ukur pilem kapasitif anu tiasa ngukur tekanan gas prosés anu béda-béda dina rentang anu lega. Tekanan déposisi dikontrol sacara otomatis ku klep kontrol proporsional presisi tinggi.
3. Komponén cai pendingin dilengkepan ku tekanan cai multi-kanal, aliran, pangukuran suhu sareng parangkat lunak otomatis pangawasan. Komponén pendingin anu béda-béda henteu gumantung kana anu sanés, anu merenah pikeun diagnosis gangguan gancang. Sadaya cabang gaduh saklar klep mandiri, anu aman sareng efisien.
4. Komponén kontrol listrik nganggo layar LCD antarmuka manusa-mesin ukuran ageung sareng damel bareng sareng kontrol otomatis pinuh PLC pikeun ngagampangkeun ngédit sareng ngimpor rumus prosés. Kurva grafis sacara visual nampilkeun parobihan sareng nilai rupa-rupa parameter, sareng parameter alat sareng prosés sacara otomatis dirékam sareng diarsipan pikeun ngagampangkeun pelacakan masalah sareng analisis statistik data.
5. Rak benda kerja dilengkepan motor servo pikeun ngontrol ngangkat sareng nurunkeun méja substrat. Méja substrat grafit atanapi tambaga beureum tiasa dipilih. Suhuna diukur ku termokopel.
6. Komponen rak tiasa dirancang sacara gembleng atanapi misah numutkeun sarat palanggan pikeun minuhan sarat penanganan khusus palanggan.
7. Komponen pelat segelna éndah sareng elegan. Pelat segel dina rupa-rupa daérah modul fungsional alat tiasa gancang dibongkar atanapi dibuka sareng ditutup sacara mandiri, anu merenah pisan dianggo.

Peralatan CVD filamén panas cocog pikeun neundeun bahan inten, kalebet palapis pilem ipis, pilem kandel anu ngadukung diri, inten mikrokristalin sareng nanokristalin, inten konduktif, jsb. Ieu utamina dianggo pikeun palapis pelindung tahan aus pikeun alat motong karbida semén, bahan semikonduktor sapertos silikon sareng silikon karbida, palapis disipasi panas alat, éléktroda inten konduktif anu didoping boron, disinfeksi ozon pikeun cai éléktrolitik atanapi pangolahan limbah.