HFCVD0606

Yàrá ìbòrí ìfọ́mọ́ra ti ẹ̀rọ ìtọ́jú èéfín kẹ́míkà gba ìṣètò ìtútù omi onípele méjì tí ó dúró ṣinṣin, èyí tí ó munadoko àti bákan náà nínú ìtútù, ó sì ní ìṣètò tí ó ní ààbò àti ìdúróṣinṣin. A ṣe ẹ̀rọ náà pẹ̀lú àwọn ìlẹ̀kùn méjì, àwọn fèrèsé ìwòye púpọ̀ àti àwọn ìsopọ̀ ìfẹ̀sí púpọ̀, èyí tí ó rọrùn fún ìsopọ̀ ìta ti àwọn ohun èlò ìrànlọ́wọ́ bíi ìwọ̀n otutu infurarẹẹdi, ìṣàyẹ̀wò spectral, ìṣàyẹ̀wò fídíò àti thermocouple. Ìmọ̀ ẹ̀rọ tí ó ti ní ìlọsíwájú mú kí àtúnṣe àti ìtọ́jú ojoojúmọ́, ìyípadà ìṣètò àti ìdàgbàsókè ohun èlò náà rọrùn àti rọrùn, ó sì dín iye owó lílò àti ìdàgbàsókè kù lọ́nà tí ó dára.

Awọn ẹya ara ẹrọ ti ẹrọ:

1. Àwọn èròjà afikún ti ohun èlò náà ní pàtàkì pẹ̀lú mita ìṣàn omi, fáàfù solenoid àti ojò ìdàpọ̀ gaasi, èyí tí ó ń rí i dájú pé ìṣàkóso pípéye ti ìṣàn gaasi ilana, ìdàpọ̀ aṣọ àti ìyàsọ́tọ̀ ààbò ti àwọn gaasi oriṣiriṣi, àti pé ó lè yan àwọn èròjà ètò gaasi fún lílo orísun gaasi omi, ó ń mú kí àṣàyàn àdáni ti orísun erogba omi pupọ rọrùn, àti lílo ààbò ti àwọn orísun boron oníṣẹ́dá onídámọ́ àti electrode omi.
2. A ti pese apejọ afẹ́fẹ́ náà pẹlu fifa fifa afẹfẹ yiyi ti o dakẹ ati eto fifa molikula turbo ti o le pade agbegbe abẹlẹ giga ti afẹfẹ. A lo wiwọn fifa afẹfẹ ti o ni wiwọn resistance ati iwọn ionization fun wiwọn afẹfẹ, bakanna bi eto wiwọn fiimu capacitive ti o le wọn titẹ ti awọn gaasi ilana oriṣiriṣi ni ọpọlọpọ awọn ibiti. A n ṣakoso titẹ ifipamọ laifọwọyi ni kikun nipasẹ valve iṣakoso ti o ni ibamu to gaju.
3. A pese apa omi itutu naa pẹlu titẹ omi pupọ-ikanni, sisan, wiwọn iwọn otutu ati ibojuwo laifọwọyi sọfitiwia. Awọn ẹya itutu oriṣiriṣi ko da lori ara wọn, eyiti o rọrun fun ayẹwo aṣiṣe ni kiakia. Gbogbo awọn ẹka ni awọn iyipada valve ominira, eyiti o ni aabo ati munadoko.
4. Àwọn ẹ̀yà ìṣàkóso iná mànàmáná gba ìbòjú LCD alágbékalẹ̀ ènìyàn àti ẹ̀rọ ńlá, wọ́n sì ń bá PLC ṣiṣẹ́ pọ̀ láti mú kí àtúnṣe àti ìgbékalẹ̀ àgbékalẹ̀ ìlànà rọrùn. Ìtẹ̀sí àwòrán náà ń fi ojú rí àwọn ìyípadà àti iye àwọn pàrámítà onírúurú hàn, a sì ń gba àwọn ohun èlò àti pàrámítà ìlànà sílẹ̀ láìfọwọ́sí àti láti fi pamọ́ láti mú kí ìtọ́pinpin ìṣòro àti ìwádìí ìṣirò dátà rọrùn.
5. A fi ẹ̀rọ servo ṣe àgbékalẹ̀ àgbékalẹ̀ iṣẹ́ náà láti ṣàkóso gbígbé àti ìsọ̀kalẹ̀ tábìlì substrate. A lè yan tábìlì graphite tàbí bàbà pupa. A fi thermocouple wọn ìwọ̀n otútù náà.
6. A le ṣe apẹrẹ awọn ẹya agbeko naa ni gbogbogbo tabi lọtọ gẹgẹbi awọn ibeere alabara lati pade awọn ibeere itọju pataki ti awọn alabara.
7. Àwọn ẹ̀yà ara àwo ìdìmú náà lẹ́wà, wọ́n sì lẹ́wà. Àwọn àwo ìdìmú ní àwọn agbègbè module iṣẹ́-ṣíṣe ti ẹ̀rọ náà lè yára túká tàbí ṣí i, kí wọ́n sì ti i pa láìsí ara wọn, èyí tí ó rọrùn láti lò.

Ohun èlò CVD tó ń gbóná gbóná yẹ fún fífi àwọn ohun èlò dáyámọ́ńdì sí, títí bí ìbòrí fíìmù tín-tín, fíìmù tó nípọn tó ń gbé ara rẹ̀ ró, dáyámọ́ńdì microcrystalline àti nanocrystalline, dáyámọ́ńdì onídà, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ. A sábà máa ń lò ó fún ìbòrí ààbò tó lè dènà ìbàjẹ́ ti àwọn irinṣẹ́ ìgé carbide tí a fi símẹ́ǹtì ṣe, àwọn ohun èlò semiconductor bíi silicon àti silicon carbide, ìbòrí ìtújáde ooru ti àwọn ẹ̀rọ, boron doped conductive diamond electrode, ozone disinfection of electrolytic water or respiratory.