HFCVD0606

Kamore ea ho koahela ka vacuum ea lisebelisoa tsa ho boloka mouoane oa lik'hemik'hale e sebelisa sebopeho se ikemetseng sa ho pholisa metsi sa mekhahlelo e 'meli, se sebetsang hantle le se ts'oanang ha ho pholisoa, 'me se na le sebopeho se sireletsehileng le se tsitsitseng. Lisebelisoa li entsoe ka mamati a mabeli, lifensetere tse ngata tsa ho shebella le li-interface tse ngata tsa katoloso, tse loketseng khokahano ea kantle ea lisebelisoa tse thusang tse kang tekanyo ea mocheso oa infrared, tlhahlobo ea spectral, tlhokomelo ea video le thermocouple. Khopolo-taba e tsoetseng pele ea moralo e etsa hore ntlafatso ea letsatsi le letsatsi le tlhokomelo, phetoho ea sebopeho le ntlafatso ea lisebelisoa e be bonolo le e bonolo, 'me e fokotsa litšenyehelo tsa ts'ebeliso le ntlafatso ka katleho.

Likarolo tsa lisebelisoa:

1. Likarolo tsa infleishene tsa lisebelisoa li kenyelletsa haholo-holo sesupa-tsela sa phallo ea boima, valve ea solenoid le tanka ea ho kopanya khase, tse netefatsang taolo e nepahetseng ea phallo ea khase ea ts'ebetso, ho kopanya ka mokhoa o ts'oanang le ho itšehla thajana ka mokhoa o sireletsehileng oa likhase tse fapaneng, 'me li ka khetha likarolo tsa sistimi ea khase bakeng sa ts'ebeliso ea mohloli oa khase ea metsi, li nolofatsa khetho ea hau ea mefuta e mengata ea mehloli ea khabone ea metsi, le ts'ebeliso e sireletsehileng ea mehloli ea boron ea metsi ea daemane e tsamaisang motlakase le ea electrode.
2. Kopano ea ho ntša moea e na le pompo ea vacuum e khutsitseng le e sebetsang hantle ea vane e potolohang le sistimi ea pompo ea limolek'hule ea turbo e ka kopanang kapele le tikoloho e phahameng ea vacuum background. Gauge ea vacuum e kopaneng e nang le gauge ea khanyetso le gauge ea ionization e sebelisoa bakeng sa ho lekanya vacuum, hammoho le sistimi ea capacitive film gauge e ka lekanyang khatello ea likhase tse fapaneng tsa ts'ebetso ka bongata. Khatello ea deposition e laoloa ka boiketsetso ka botlalo ke valve ea taolo e lekanang ka nepo e phahameng.
3. Karolo ea metsi a pholileng e na le khatello ea metsi ea likanale tse ngata, phallo, tekanyo ea mocheso le tlhahlobo ea othomathiki ea software. Likarolo tse fapaneng tsa pholileng li ikemetse ka bonngoe, e leng se loketseng ho fumana liphoso ka potlako. Makala 'ohle a na le li-switch tse ikemetseng tsa li-valve, tse bolokehileng le tse sebetsang hantle.
4. Likarolo tsa taolo ea motlakase li amohela skrine ea LCD ea sebopeho sa motho le mochini o moholo 'me li sebelisana le taolo e iketsang ea PLC ho nolofatsa ho hlophisoa le ho kenngoa ha foromo ea ts'ebetso. Setšoantšo se kobehileng se bonts'a liphetoho le boleng ba liparamente tse fapaneng ka pono, 'me lisebelisoa le liparamente tsa ts'ebetso li rekotoa ka boiketsetso le ho bolokoa ho nolofatsa ho latela mathata le tlhahlobo ea lipalo-palo ea data.
5. Rake ea mosebetsi e na le enjene ea servo ho laola ho phahamisa le ho theola tafole ea substrate. Tafole ea substrate ea graphite kapa e khubelu ea koporo e ka khethoa. Mocheso o lekanngoa ka thermocouple.
6. Likarolo tsa rack li ka etsoa kaofela kapa ka thoko ho latela litlhoko tsa bareki ho fihlela litlhoko tse khethehileng tsa ts'ebetso ea bareki.
7. Likarolo tsa poleiti ea ho tiisa li ntle ebile lia khahleha. Lipoleiti tsa ho tiisa libakeng tse fapaneng tsa module tse sebetsang tsa lisebelisoa li ka qhaqhoa kapele kapa tsa buloa le ho koaloa ka boikemelo, e leng se bonolo haholo ho se sebelisa.

Lisebelisoa tsa CVD tse chesang tsa filament li loketse ho kenya thepa ea taemane, ho kenyeletsoa le ho koahela filimi e tšesaane, filimi e teteaneng e itšehetsang, taemane ea microcrystalline le nanocrystalline, taemane e tsamaisang motlakase, jj. E sebelisoa haholo bakeng sa ho koahela lisebelisoa tsa ho seha carbide tse sa kenngoeng ka samente tse sa tsofaleng, lisebelisoa tsa semiconductor tse kang silicon le silicon carbide, ho koahela lisebelisoa tse hasang mocheso, electrode ea taemane e tsamaisang motlakase e nang le boron, ho bolaea likokoana-hloko ka ozone ea metsi a electrolytic kapa kalafo ea likhoerekhoere.