HFCVD0606

இரசாயன ஆவிப் படிவு உபகரணத்தின் வெற்றிடப் பூச்சுக் கூடம், ஒரு தனித்த இரட்டை அடுக்கு நீர்-குளிரூட்டும் அமைப்பைக் கொண்டுள்ளது. இது குளிரூட்டலில் திறமையாகவும் சீராகவும் இருப்பதுடன், பாதுகாப்பான மற்றும் நிலையான கட்டமைப்பையும் கொண்டுள்ளது. இந்த உபகரணம் இரட்டைக் கதவுகள், பல கண்காணிப்பு ஜன்னல்கள் மற்றும் பல விரிவாக்க இடைமுகங்களுடன் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. இது அகச்சிவப்பு வெப்பநிலை அளவீடு, நிறமாலைப் பகுப்பாய்வு, காணொளிக் கண்காணிப்பு மற்றும் வெப்ப இணை போன்ற துணைச் சாதனங்களை வெளிப்புறமாக இணைப்பதற்கு வசதியாக உள்ளது. இந்த மேம்பட்ட வடிவமைப்பு, உபகரணத்தின் தினசரி முழுமையான பழுதுபார்த்தல் மற்றும் பராமரிப்பு, உள்ளமைவு மாற்றம் மற்றும் மேம்படுத்தல் ஆகியவற்றை எளிதாகவும் சுலபமாகவும் ஆக்குவதுடன், பயன்பாடு மற்றும் மேம்படுத்தல் செலவுகளையும் திறம்படக் குறைக்கிறது.

உபகரணத்தின் சிறப்பம்சங்கள்:

1. இந்த உபகரணத்தின் காற்றூட்டக் கூறுகளில் முக்கியமாக நிறை ஓட்டமானி, மின்காந்தச் சுருள் வால்வு மற்றும் வாயு கலப்புத் தொட்டி ஆகியவை அடங்கும். இவை செயல்முறை வாயு ஓட்டத்தின் துல்லியமான கட்டுப்பாடு, சீரான கலவை மற்றும் வெவ்வேறு வாயுக்களின் பாதுகாப்பான தனிமைப்படுத்தல் ஆகியவற்றை உறுதி செய்கின்றன. மேலும், திரவ வாயு மூலத்தைப் பயன்படுத்துவதற்கான வாயு அமைப்புக் கூறுகளைத் தேர்ந்தெடுக்கவும், பரந்த அளவிலான திரவ கார்பன் மூலங்களின் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தேர்வை எளிதாக்கவும், செயற்கை கடத்தும் வைரம் மற்றும் மின்முனை திரவ போரான் மூலங்களின் பாதுகாப்பான பயன்பாட்டிற்கும் இவை வழிவகுக்கின்றன.
2. காற்று வெளியேற்ற அமைப்பானது, அதிக வெற்றிடப் பின்னணிச் சூழலை விரைவாகச் சமாளிக்கக்கூடிய, அமைதியான மற்றும் திறமையான சுழல் தகடு வெற்றிடப் பம்ப் மற்றும் டர்போ மூலக்கூறு பம்ப் அமைப்புடன் பொருத்தப்பட்டுள்ளது. வெற்றிட அளவீட்டிற்காக, மின்தடை அளவி மற்றும் அயனியாக்க அளவியுடன் கூடிய கலப்பு வெற்றிட அளவி பயன்படுத்தப்படுகிறது. அத்துடன், பரந்த அளவில் வெவ்வேறு செயல்முறை வாயுக்களின் அழுத்தத்தை அளவிடக்கூடிய கொள்ளளவுப் படல அளவி அமைப்பும் பயன்படுத்தப்படுகிறது. படிவு அழுத்தமானது, உயர்-துல்லியமான விகிதாசாரக் கட்டுப்பாட்டு வால்வு மூலம் முழுமையாகத் தானியங்கி முறையில் கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது.
3. குளிரூட்டும் நீர் அமைப்பானது, பல-வழி நீர் அழுத்தம், பாய்வு, வெப்பநிலை அளவீடு மற்றும் மென்பொருள் தானியங்கி கண்காணிப்பு ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது. வெவ்வேறு குளிரூட்டும் பாகங்கள் ஒன்றுக்கொன்று சார்பற்றவை, இது விரைவான பழுது கண்டறிதலுக்கு வசதியாக உள்ளது. அனைத்து கிளைகளிலும் தனித்தனி வால்வு சுவிட்சுகள் உள்ளன, இது பாதுகாப்பானது மற்றும் திறமையானது.
4. மின்சாரக் கட்டுப்பாட்டுக் கூறுகள், பெரிய அளவிலான மனித-இயந்திர இடைமுக எல்சிடி திரையைப் பயன்படுத்துகின்றன மற்றும் செயல்முறை சூத்திரங்களைத் திருத்துவதையும் இறக்குமதி செய்வதையும் எளிதாக்குவதற்காக பிஎல்சி முழு-தானியங்கி கட்டுப்பாட்டுடன் இணைந்து செயல்படுகின்றன. வரைபட வளைகோடு பல்வேறு அளவுருக்களின் மாற்றங்களையும் மதிப்புகளையும் காட்சிப்படுத்துகிறது, மேலும் சிக்கல் கண்டறிதல் மற்றும் தரவு புள்ளிவிவரப் பகுப்பாய்வை எளிதாக்குவதற்காக உபகரண மற்றும் செயல்முறை அளவுருக்கள் தானாகவே பதிவு செய்யப்பட்டு காப்பகப்படுத்தப்படுகின்றன.
5. வேலைப்பொருள் தாங்கியானது, அடித்தள மேசையை உயர்த்துவதையும் தாழ்த்துவதையும் கட்டுப்படுத்த ஒரு செர்வோ மோட்டாருடன் பொருத்தப்பட்டுள்ளது. கிராஃபைட் அல்லது செம்பு அடித்தள மேசையைத் தேர்ந்தெடுக்கலாம். வெப்பநிலை ஒரு தெர்மோகப்பிள் மூலம் அளக்கப்படுகிறது.
6. வாடிக்கையாளர்களின் சிறப்பு கையாளும் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்யும் வகையில், ரேக்கின் பாகங்கள் அவர்களின் தேவைகளுக்கு ஏற்ப முழுமையாகவோ அல்லது தனித்தனியாகவோ வடிவமைக்கப்படலாம்.
7. சீலிங் பிளேட் பாகங்கள் அழகாகவும் நேர்த்தியாகவும் உள்ளன. சாதனத்தின் வெவ்வேறு செயல்பாட்டுப் பகுதிகளில் உள்ள சீலிங் பிளேட்டுகளை விரைவாகக் கழற்றவோ அல்லது தனித்தனியாகத் திறந்து மூடவோ முடியும், இது பயன்படுத்துவதற்கு மிகவும் வசதியானது.

வெப்ப இழை CVD உபகரணமானது, மெல்லிய படலப் பூச்சு, சுய-தாங்கும் தடிமனான படலம், நுண்படிக மற்றும் நானோபடிக வைரம், கடத்தும் வைரம் போன்ற வைரப் பொருட்களைப் படியவைக்க ஏற்றது. இது முக்கியமாக சிமென்ட் செய்யப்பட்ட கார்பைடு வெட்டுக் கருவிகளின் தேய்மான-எதிர்ப்புப் பாதுகாப்புப் பூச்சு, சிலிக்கான் மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு போன்ற குறைக்கடத்திப் பொருட்கள், சாதனங்களின் வெப்பச் சிதறல் பூச்சு, போரான் கலக்கப்பட்ட கடத்தும் வைர மின்முனை, மின்பகுப்பு நீரின் ஓசோன் கிருமி நீக்கம் அல்லது கழிவுநீர் சுத்திகரிப்பு ஆகியவற்றிற்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.