एचएफसीवीडी0606

रासायनिक वाष्प निक्षेपण उपकरण के वैक्यूम कोटिंग कक्ष में स्वतंत्र दोहरी परत वाली जल-शीतलन संरचना का उपयोग किया गया है, जो कुशल और एकसमान शीतलन प्रदान करती है, और इसकी संरचना सुरक्षित और स्थिर है। उपकरण में दोहरे दरवाजे, कई अवलोकन खिड़कियां और कई विस्तार इंटरफेस हैं, जो अवरक्त तापमान मापन, स्पेक्ट्रल विश्लेषण, वीडियो निगरानी और थर्मोकपल जैसे सहायक उपकरणों के बाहरी कनेक्शन के लिए सुविधाजनक हैं। उन्नत डिजाइन अवधारणा उपकरण के दैनिक रखरखाव, कॉन्फ़िगरेशन परिवर्तन और उन्नयन को आसान और सरल बनाती है, और उपयोग और उन्नयन लागत को प्रभावी रूप से कम करती है।

उपकरण की विशेषताएं:

1. उपकरण के मुद्रास्फीति घटकों में मुख्य रूप से द्रव्यमान प्रवाह मीटर, सोलनॉइड वाल्व और गैस मिश्रण टैंक शामिल हैं, जो प्रक्रिया गैस प्रवाह के सटीक नियंत्रण, एकसमान मिश्रण और विभिन्न गैसों के सुरक्षित अलगाव को सुनिश्चित करते हैं, और तरल गैस स्रोत के उपयोग के लिए गैस प्रणाली घटकों का चयन कर सकते हैं, तरल कार्बन स्रोतों की एक विस्तृत श्रृंखला के वैयक्तिकृत चयन को सुविधाजनक बनाते हैं, और सिंथेटिक प्रवाहकीय हीरे और इलेक्ट्रोड तरल बोरॉन स्रोतों के सुरक्षित उपयोग को सुनिश्चित करते हैं।
2. वायु निष्कर्षण असेंबली एक शांत और कुशल रोटरी वेन वैक्यूम पंप और एक टर्बो मॉलिक्यूलर पंप प्रणाली से सुसज्जित है जो उच्च वैक्यूम पृष्ठभूमि वातावरण की आवश्यकताओं को शीघ्रता से पूरा कर सकती है। वैक्यूम मापन के लिए प्रतिरोध गेज और आयनीकरण गेज युक्त मिश्रित वैक्यूम गेज का उपयोग किया जाता है, साथ ही कैपेसिटिव फिल्म गेज प्रणाली भी है जो विभिन्न प्रक्रिया गैसों के दबाव को व्यापक रेंज में माप सकती है। उच्च परिशुद्धता वाले आनुपातिक नियंत्रण वाल्व द्वारा निक्षेपण दबाव पूरी तरह से स्वचालित रूप से नियंत्रित होता है।
3. शीतलन जल घटक बहु-चैनल जल दाब, प्रवाह, तापमान मापन और सॉफ़्टवेयर स्वचालित निगरानी से सुसज्जित है। विभिन्न शीतलन घटक एक दूसरे से स्वतंत्र हैं, जिससे त्रुटि निदान में तेजी आती है। सभी शाखाओं में स्वतंत्र वाल्व स्विच हैं, जो सुरक्षित और कुशल हैं।
4. विद्युत नियंत्रण घटकों में बड़े आकार की मानव-मशीन इंटरफ़ेस एलसीडी स्क्रीन लगी है और यह पीएलसी पूर्ण-स्वचालित नियंत्रण प्रणाली के साथ मिलकर प्रक्रिया सूत्रों के संपादन और आयात को सुगम बनाती है। ग्राफ़िकल वक्र विभिन्न मापदंडों के परिवर्तनों और मूल्यों को दृश्य रूप से प्रदर्शित करता है, और उपकरण एवं प्रक्रिया मापदंडों को स्वचालित रूप से रिकॉर्ड और संग्रहीत किया जाता है, जिससे समस्या का पता लगाना और डेटा का सांख्यिकीय विश्लेषण करना आसान हो जाता है।
5. वर्कपीस रैक में सब्सट्रेट टेबल को ऊपर उठाने और नीचे करने के लिए एक सर्वो मोटर लगी होती है। ग्रेफाइट या लाल तांबे की सब्सट्रेट टेबल का चयन किया जा सकता है। तापमान को थर्मोकपल द्वारा मापा जाता है।
6. ग्राहकों की विशेष हैंडलिंग आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए रैक घटकों को ग्राहक की आवश्यकताओं के अनुसार समग्र रूप से या अलग-अलग डिजाइन किया जा सकता है।
7. सीलिंग प्लेट के घटक सुंदर और सुरुचिपूर्ण हैं। उपकरण के विभिन्न कार्यात्मक मॉड्यूल क्षेत्रों में स्थित सीलिंग प्लेटों को जल्दी से अलग किया जा सकता है या स्वतंत्र रूप से खोला और बंद किया जा सकता है, जो उपयोग में बहुत सुविधाजनक है।

हॉट फिलामेंट सीवीडी उपकरण पतली फिल्म कोटिंग, स्व-सहायक मोटी फिल्म, माइक्रोक्रिस्टलाइन और नैनोक्रिस्टलाइन हीरा, प्रवाहकीय हीरा आदि सहित हीरे की सामग्रियों को जमा करने के लिए उपयुक्त है। इसका मुख्य रूप से उपयोग सीमेंटेड कार्बाइड कटिंग टूल्स, सिलिकॉन और सिलिकॉन कार्बाइड जैसे अर्धचालक पदार्थों की घिसाव-प्रतिरोधी सुरक्षात्मक कोटिंग, उपकरणों की ऊष्मा अपव्यय कोटिंग, बोरोन डोप्ड प्रवाहकीय हीरा इलेक्ट्रोड, इलेक्ट्रोलाइटिक जल के ओजोन कीटाणुशोधन या सीवेज उपचार के लिए किया जाता है।