HFCVD0606

Himiki bug çökündi enjamlarynyň wakuum örtük kamerasy garaşsyz iki gatlakly suw sowadyjy gurluşy ulanýar, bu bolsa sowadyşda netijeli we birmeňzeş, şeýle hem howpsuz we durnukly gurluşa eýedir. Enjam iki gapyly, köp sanly gözegçilik penjireleri we köp sanly giňeldiş interfeýsleri bilen dizaýn edilen, bu bolsa infragyzyl temperatura ölçegleri, spektral analiz, wideo gözegçilik we termopar ýaly kömekçi periferiýa enjamlarynyň daşarky birikdirilmegi üçin amatlydyr. Ösen dizaýn konsepsiýasy enjamlaryň gündelik abatlaýyş işlerini we tehniki hyzmatyny, konfigurasiýany üýtgetmegi we täzelemegi aňsat we ýönekeý edýär, şeýle hem ulanyş we täzelemegiň çykdajylaryny netijeli azaldýar.

Enjamlaryň aýratynlyklary:

1. Enjamyň üfleme bölekleri, esasan, massa akym ölçeýjisini, solenoid klapanyny we gaz garyşdyryjy bakyny öz içine alýar, olar proses gaz akymynyň takyk gözegçiligini, dürli gazlaryň deň derejede garyşdyrylmagyny we howpsuz izolýasiýasyny üpjün edýär, şeýle hem suwuk gaz çeşmesini ulanmak üçin gaz ulgamynyň böleklerini saýlap bilýär, dürli suwuk uglerod çeşmeleriniň şahsylaşdyrylan saýlamasyny ýeňilleşdirýär we sintetiki geçiriji almaz we elektrod suwuk bor çeşmeleriniň howpsuz ulanylmagyny üpjün edýär.
2. Howa çykaryjy gurluş sessiz we netijeli aýlanýan perwan wakuum nasosy we ýokary wakuum fon gurşawyna çalt laýyk gelýän turbo molekulýar nasos ulgamy bilen üpjün edilen. Garşylyk ölçegli we ionizasiýa ölçegli kompozit wakuum ölçegi, şeýle hem dürli işlenýän gazlaryň basyşyny giň diapazonda ölçäp bilýän kapasitiw plýonka ölçeg ulgamy wakuum ölçeýji üçin ulanylýar. Çökdürme basyşy ýokary takyklykly proporsional dolandyryş klapany bilen doly awtomatiki dolandyrylýar.
3. Sowadyjy suw bölegi köp kanally suw basyşyny, akymyny, temperaturasyny ölçemek we programma üpjünçiliginiň awtomatiki gözegçiligi bilen üpjün edilen. Dürli sowadyjy bölekler biri-birinden garaşsyz, bu bolsa näsazlyklary çalt anyklamak üçin amatlydyr. Ähli şahalarda garaşsyz klapan açarlary bar, bu bolsa howpsuz we netijelidir.
4. Elektrik dolandyryş bölekleri uly ölçegli adam-maşyn interfeýsi LCD ekranyny ulanýar we proses formulasyny redaktirlemegi we import etmegi ýeňilleşdirmek üçin PLC doly awtomatik dolandyryşy bilen hyzmatdaşlyk edýär. Grafik egri dürli parametrleriň üýtgeşmelerini we gymmatlyklaryny wizual görkezýär, şeýle hem enjamlaryň we proses parametrleriniň meseleleri yzarlamagy we maglumatlaryň statistik seljermesini ýeňilleşdirmek üçin awtomatiki usulda ýazylyp alynýar we arhiwlenýär.
5. Iş bölegi stellažy substrat stolunyň galdyrylmagyny we düşürilmegini dolandyrmak üçin serwo motor bilen üpjün edilen. Grafit ýa-da gyzyl mis substrat stoluny saýlap bolýar. Temperatura termopar bilen ölçenýär.
6. Müşderileriň ýörite işleme talaplaryny kanagatlandyrmak üçin reýka bölekleri müşderiniň talaplaryna laýyklykda tutuşlygyna ýa-da aýratynlykda dizaýn edilip bilner.
7. Möhürleýji plastinka bölekleri owadan we ajaýyp. Enjamyň dürli funksional modul böleklerindäki möhürleýji plastinkalary çalt söküp ýa-da özbaşdak açyp-ýapyp bolýar, bu bolsa ulanmak üçin örän amatlydyr.

Gyzgyn filamentli CVD enjamlary almaz materiallaryny, şol sanda inçe plýonka örtügini, öz-özüni goldaýan galyň plýonkany, mikrokristal we nanokristal almazy, geçiriji almazy we ş.m. goýmak üçin amatlydyr. Ol esasan sementlenen karbid kesiji gurallaryň, kremniý we kremniý karbidi ýaly ýarymgeçiriji materiallaryň aşynma garşy gorag örtügini, enjamlaryň ýylylyk ýaýradyjy örtügini, bor bilen lehimlenen geçiriji almaz elektrodyny, elektrolitik suwuň ozon dezinfeksiýasyny ýa-da hapa suwlary arassalamak üçin ulanylýar.