HFCVD0606

Химиялык буу чөктүрүүчү жабдуулардын вакуумдук каптоо камерасы муздатууда натыйжалуу жана бирдей болгон, коопсуз жана туруктуу түзүлүшкө ээ болгон көз карандысыз кош катмарлуу суу муздатуу түзүлүшүн колдонот. Жабдуу кош эшиктер, бир нече байкоо терезелери жана бир нече кеңейтүү интерфейстери менен иштелип чыккан, бул инфракызыл температураны өлчөө, спектрдик анализ, видеомониторинг жана термопара сыяктуу кошумча перифериялык түзүлүштөрдү тышкы туташтыруу үчүн ыңгайлуу. Өркүндөтүлгөн дизайн концепциясы жабдууларды күнүмдүк капиталдык оңдоону жана тейлөөнү, конфигурацияны өзгөртүүнү жана жаңыртууну жеңил жана жөнөкөй кылат, ошондой эле колдонуу жана жаңыртуу чыгымдарын натыйжалуу азайтат.

Жабдуулардын өзгөчөлүктөрү:

1. Жабдуунун үйлөтүүчү компоненттерине негизинен массалык агым өлчөгүч, электромагниттик клапан жана газ аралаштыруу резервуары кирет, алар процесстик газ агымын так башкарууну, бирдей аралаштырууну жана ар кандай газдарды коопсуз изоляциялоону камсыз кылат жана суюк газ булагын колдонуу үчүн газ системасынын компоненттерин тандай алат, суюк көмүртек булактарынын кеңири түрүн жекелештирилген тандоону жеңилдетет жана синтетикалык өткөргүч алмаз жана электроддук суюк бор булактарын коопсуз колдоно алат.
2. Аба соргуч түзүлүшү үнсүз жана натыйжалуу айланма канаттуу вакуумдук насос жана жогорку вакуумдук фон чөйрөсүнө тез жооп бере алган турбомолекулярдык насос системасы менен жабдылган. Каршылык өлчөгүчү жана иондоштуруу өлчөгүчү бар курама вакуумдук өлчөгүч, ошондой эле ар кандай технологиялык газдардын басымын кеңири диапазондо өлчөй турган сыйымдуулуктагы пленка өлчөгүч системасы вакуумдук өлчөө үчүн колдонулат. Чөкмө басымы жогорку тактыктагы пропорционалдык башкаруу клапаны менен толугу менен автоматтык түрдө башкарылат.
3. Муздатуучу суу компоненти көп каналдуу суунун басымын, агымын, температурасын өлчөө жана программалык автоматтык мониторинг менен жабдылган. Ар кандай муздатуучу компоненттер бири-биринен көз карандысыз, бул бузулууларды тез аныктоо үчүн ыңгайлуу. Бардык бутактарда коопсуз жана натыйжалуу болгон көз карандысыз клапан өчүргүчтөрү бар.
4. Электрдик башкаруу компоненттери чоң өлчөмдөгү адам-машина интерфейсинин LCD экранын колдонот жана процесстин формуласын түзөтүүнү жана импорттоону жеңилдетүү үчүн PLC толук автоматтык башкаруусу менен кызматташат. Графикалык ийри сызык ар кандай параметрлердин өзгөрүүлөрүн жана маанилерин визуалдык түрдө көрсөтөт, ал эми жабдуулар жана процесстин параметрлери көйгөйлөрдү издөөнү жана маалыматтарды статистикалык талдоону жеңилдетүү үчүн автоматтык түрдө жазылып, архивделет.
5. Жумушчу бөлүктүн стеллажы субстрат столунун көтөрүлүшүн жана түшүрүлүшүн башкаруу үчүн серво мотор менен жабдылган. Графит же кызыл жез субстрат столун тандоого болот. Температура термопара менен өлчөнөт.
6. Кардарлардын атайын иштетүү талаптарын канааттандыруу үчүн стеллаждын компоненттери толугу менен же өз-өзүнчө иштелип чыгышы мүмкүн.
7. Пломбалык пластинанын компоненттери кооз жана көрктүү. Жабдуунун ар кандай функционалдык модулдук аймактарындагы пломбалоочу пластиналарды тез эле бөлүп алууга же өз алдынча ачып-жабууга болот, бул колдонууга абдан ыңгайлуу.

Ысык жипчелүү CVD жабдуулары жука пленкалуу каптоо, өзүн-өзү кармаган калың пленка, микрокристаллдык жана нанокристаллдык алмаз, өткөргүч алмаз ж.б. сыяктуу алмаз материалдарын сактоого ылайыктуу. Ал негизинен цементтелген карбид кесүүчү шаймандарды, кремний жана кремний карбиди сыяктуу жарым өткөргүч материалдарды, түзмөктөрдү жылуулукту таратуу каптоо, бор кошулган өткөргүч алмаз электроду, электролиттик сууну озон менен дезинфекциялоо же агынды сууларды тазалоо үчүн колдонулат.