HFCVD0606

Kimyasal buhar biriktirme ekipmanının vakum kaplama odası, verimli ve homojen soğutma sağlayan, güvenli ve istikrarlı bir yapıya sahip bağımsız çift katmanlı su soğutma yapısını benimser. Ekipman, kızılötesi sıcaklık ölçümü, spektral analiz, video izleme ve termokupl gibi yardımcı çevre birimlerinin harici bağlantısı için uygun olan çift kapı, çoklu gözlem pencereleri ve çoklu genişletme arayüzleri ile tasarlanmıştır. Gelişmiş tasarım konsepti, ekipmanın günlük bakım ve onarımını, konfigürasyon değişikliğini ve yükseltmesini kolay ve basit hale getirir ve kullanım ve yükseltme maliyetlerini etkin bir şekilde azaltır.

Ekipman özellikleri:

1. Ekipmanın şişirme bileşenleri esas olarak kütle akış ölçer, solenoid valf ve gaz karıştırma tankından oluşur; bunlar proses gaz akışının doğru kontrolünü, homojen karışımı ve farklı gazların güvenli bir şekilde izole edilmesini sağlar ve sıvı gaz kaynağı kullanımına göre gaz sistemi bileşenlerinin seçilmesine olanak tanır, geniş bir yelpazedeki sıvı karbon kaynaklarının kişiselleştirilmiş seçimini kolaylaştırır ve sentetik iletken elmas ve elektrot sıvı bor kaynaklarının güvenli kullanımını sağlar.
2. Hava tahliye düzeneği, sessiz ve verimli bir döner kanatlı vakum pompası ve yüksek vakum ortamına hızlı bir şekilde uyum sağlayabilen bir turbo moleküler pompa sistemi ile donatılmıştır. Vakum ölçümü için direnç ölçer ve iyonizasyon ölçer içeren kompozit vakum ölçer kullanılır; ayrıca geniş bir aralıkta farklı proses gazlarının basıncını ölçebilen kapasitif film ölçer sistemi de mevcuttur. Biriktirme basıncı, yüksek hassasiyetli oransal kontrol vanası ile tamamen otomatik olarak kontrol edilir.
3. Soğutma suyu bileşeni, çok kanallı su basıncı, akış, sıcaklık ölçümü ve yazılım otomatik izleme sistemi ile donatılmıştır. Farklı soğutma bileşenleri birbirinden bağımsızdır, bu da hızlı arıza teşhisini kolaylaştırır. Tüm dallarda bağımsız vana anahtarları bulunur, bu da güvenli ve verimlidir.
4. Elektrik kontrol bileşenleri, büyük boyutlu insan-makine arayüzü LCD ekranı kullanır ve proses formüllerinin düzenlenmesini ve içe aktarılmasını kolaylaştırmak için PLC tam otomatik kontrolüyle işbirliği yapar. Grafiksel eğri, çeşitli parametrelerin değişimlerini ve değerlerini görsel olarak gösterir ve ekipman ve proses parametreleri otomatik olarak kaydedilir ve arşivlenir; bu da sorun izleme ve veri istatistiksel analizini kolaylaştırır.
5. İş parçası rafı, altlık tablasının kaldırma ve indirme hareketlerini kontrol etmek için bir servo motorla donatılmıştır. Grafit veya kırmızı bakır altlık tablası seçilebilir. Sıcaklık bir termokupl ile ölçülür.
6. Raf bileşenleri, müşterilerin özel taşıma gereksinimlerini karşılamak üzere, müşteri taleplerine göre bir bütün olarak veya ayrı ayrı tasarlanabilir.
7. Sızdırmazlık plakası bileşenleri güzel ve zariftir. Ekipmanın farklı fonksiyonel modül alanlarındaki sızdırmazlık plakaları hızlı bir şekilde sökülebilir veya bağımsız olarak açılıp kapatılabilir, bu da kullanımı çok kolaylaştırır.

Sıcak filamentli CVD ekipmanı, ince film kaplama, kendinden destekli kalın film, mikrokristalin ve nanokristalin elmas, iletken elmas vb. dahil olmak üzere elmas malzemelerin kaplanması için uygundur. Başlıca kullanım alanları arasında sertleştirilmiş karbür kesici takımların aşınmaya dayanıklı koruyucu kaplaması, silisyum ve silisyum karbür gibi yarı iletken malzemeler, cihazların ısı dağıtım kaplaması, bor katkılı iletken elmas elektrot, elektrolitik suyun veya atıksu arıtımının ozonla dezenfeksiyonu yer almaktadır.