HFCVD0606

Химиялық бу тұндыру жабдығының вакуумдық жабын камерасы тиімді және біркелкі салқындатуға, қауіпсіз және тұрақты құрылымға ие тәуелсіз қос қабатты сумен салқындату құрылымын қабылдайды. Жабдық қос есіктермен, бірнеше бақылау терезелерімен және бірнеше кеңейту интерфейстерімен жасалған, бұл инфрақызыл температураны өлшеу, спектрлік талдау, бейнебақылау және термопара сияқты қосалқы перифериялық құрылғыларды сыртқы қосуға ыңғайлы. Жетілдірілген дизайн тұжырымдамасы жабдықты күнделікті жөндеу мен техникалық қызмет көрсетуді, конфигурацияны өзгертуді және жаңартуды оңай және қарапайым етеді, сондай-ақ пайдалану мен жаңарту шығындарын тиімді түрде азайтады.

Жабдықтың ерекшеліктері:

1. Жабдықтың үрлеу компоненттеріне негізінен массалық ағын өлшегіш, соленоидты клапан және газ араластыру багы кіреді, олар технологиялық газ ағынын дәл басқаруды, біркелкі араластыруды және әртүрлі газдарды қауіпсіз оқшаулауды қамтамасыз етеді, сондай-ақ сұйық газ көзін пайдалану үшін газ жүйесінің компоненттерін таңдай алады, сұйық көміртек көздерінің кең ауқымын жеке таңдауды жеңілдетеді және синтетикалық өткізгіш алмас пен электродты сұйық бор көздерін қауіпсіз пайдалануды қамтамасыз етеді.
2. Ауа сору жинағы дыбыссыз және тиімді айналмалы қалақшалы вакуумдық сорғымен және жоғары вакуумдық фон ортасына тез бейімделе алатын турбомолекулалық сорғы жүйесімен жабдықталған. Кедергі өлшегіші және иондану өлшегіші бар композиттік вакуумдық өлшегіш вакуумды өлшеу үшін, сондай-ақ әртүрлі технологиялық газдардың қысымын кең диапазонда өлшей алатын сыйымдылықты пленкалы өлшегіш жүйесі қолданылады. Тұндыру қысымы жоғары дәлдіктегі пропорционалды басқару клапанымен толығымен автоматты түрде басқарылады.
3. Салқындатқыш су компоненті көп арналы су қысымын, ағынын, температурасын өлшеу және бағдарламалық автоматты бақылаумен жабдықталған. Әртүрлі салқындатқыш компоненттер бір-бірінен тәуелсіз, бұл ақауларды тез диагностикалауға ыңғайлы. Барлық тармақтарда тәуелсіз клапан қосқыштары бар, бұл қауіпсіз және тиімді.
4. Электрлік басқару компоненттері үлкен өлшемді адам-машина интерфейсінің LCD экранын қабылдайды және PLC толық автоматты басқаруымен бірлесіп, процесс формуласын өңдеуді және импорттауды жеңілдетеді. Графикалық қисық әртүрлі параметрлердің өзгерістері мен мәндерін көрнекі түрде көрсетеді, ал жабдық пен процесс параметрлері проблемаларды бақылауды және деректерді статистикалық талдауды жеңілдету үшін автоматты түрде жазылады және мұрағатталады.
5. Дайындама сөресі негіз үстелін көтеру және түсіруді басқару үшін серво қозғалтқышпен жабдықталған. Графит немесе қызыл мыс негіз үстелін таңдауға болады. Температура термопарамен өлшенеді.
6. Сөренің компоненттерін тұтынушылардың арнайы өңдеу талаптарын қанағаттандыру үшін тұтастай немесе бөлек жобалауға болады.
7. Тығыздағыш пластинаның компоненттері әдемі және әсем. Жабдықтың әртүрлі функционалды модуль аймақтарындағы тығыздағыш пластиналарды тез бөлшектеуге немесе өздігінен ашуға және жабуға болады, бұл пайдалану өте ыңғайлы.

Ыстық жіпшелі CVD жабдығы жұқа қабықшалы жабынды, өзін-өзі ұстайтын қалың қабықша, микрокристалды және нанокристалды алмас, өткізгіш алмас және т.б. сияқты алмас материалдарын тұндыру үшін жарамды. Ол негізінен цементтелген карбидті кескіш құралдардың тозуға төзімді қорғаныс жабыны, кремний және кремний карбиді сияқты жартылай өткізгіш материалдар, құрылғылардың жылу тарату жабыны, бормен легирленген өткізгіш алмас электроды, электролиттік суды озонмен зарарсыздандыру немесе ағынды суларды тазарту үшін қолданылады.