HFCVD0606

ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆಯ ಉಪಕರಣದ ನಿರ್ವಾತ ಲೇಪನ ಕೊಠಡಿಯು ಸ್ವತಂತ್ರ ಡಬಲ್-ಲೇಯರ್ ವಾಟರ್-ಕೂಲಿಂಗ್ ರಚನೆಯನ್ನು ಅಳವಡಿಸಿಕೊಂಡಿದೆ, ಇದು ತಂಪಾಗಿಸುವಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ಮತ್ತು ಏಕರೂಪವಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಸುರಕ್ಷಿತ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರವಾದ ರಚನೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ.ಉಪಕರಣವನ್ನು ಡಬಲ್ ಬಾಗಿಲುಗಳು, ಬಹು ವೀಕ್ಷಣಾ ಕಿಟಕಿಗಳು ಮತ್ತು ಬಹು ವಿಸ್ತರಣಾ ಇಂಟರ್ಫೇಸ್‌ಗಳೊಂದಿಗೆ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ, ಇದು ಅತಿಗೆಂಪು ತಾಪಮಾನ ಮಾಪನ, ರೋಹಿತದ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆ, ವೀಡಿಯೊ ಮಾನಿಟರಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಥರ್ಮೋಕೂಲ್‌ಗಳಂತಹ ಸಹಾಯಕ ಪೆರಿಫೆರಲ್‌ಗಳ ಬಾಹ್ಯ ಸಂಪರ್ಕಕ್ಕೆ ಅನುಕೂಲಕರವಾಗಿದೆ.ಸುಧಾರಿತ ವಿನ್ಯಾಸ ಪರಿಕಲ್ಪನೆಯು ದೈನಂದಿನ ಕೂಲಂಕುಷ ಪರೀಕ್ಷೆ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಣೆ, ಕಾನ್ಫಿಗರೇಶನ್ ಬದಲಾವಣೆ ಮತ್ತು ಉಪಕರಣಗಳ ನವೀಕರಣವನ್ನು ಸುಲಭ ಮತ್ತು ಸರಳಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಬಳಕೆ ಮತ್ತು ಅಪ್‌ಗ್ರೇಡ್ ವೆಚ್ಚವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.

ಸಲಕರಣೆ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗಳು:

1.ಉಪಕರಣಗಳ ಹಣದುಬ್ಬರ ಘಟಕಗಳು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಮಾಸ್ ಫ್ಲೋ ಮೀಟರ್, ಸೊಲೆನಾಯ್ಡ್ ಕವಾಟ ಮತ್ತು ಗ್ಯಾಸ್ ಮಿಕ್ಸಿಂಗ್ ಟ್ಯಾಂಕ್ ಅನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿವೆ, ಇದು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಅನಿಲ ಹರಿವಿನ ನಿಖರವಾದ ನಿಯಂತ್ರಣವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ, ಏಕರೂಪದ ಮಿಶ್ರಣ ಮತ್ತು ವಿವಿಧ ಅನಿಲಗಳ ಸುರಕ್ಷಿತ ಪ್ರತ್ಯೇಕತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಬಳಕೆಗಾಗಿ ಗ್ಯಾಸ್ ಸಿಸ್ಟಮ್ ಘಟಕಗಳನ್ನು ಆಯ್ಕೆ ಮಾಡಬಹುದು. ದ್ರವ ಅನಿಲ ಮೂಲ, ವ್ಯಾಪಕ ಶ್ರೇಣಿಯ ದ್ರವ ಇಂಗಾಲದ ಮೂಲಗಳ ವೈಯಕ್ತೀಕರಿಸಿದ ಆಯ್ಕೆಯನ್ನು ಸುಗಮಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸಂಶ್ಲೇಷಿತ ವಾಹಕ ವಜ್ರ ಮತ್ತು ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಡ್ ದ್ರವ ಬೋರಾನ್ ಮೂಲಗಳ ಸುರಕ್ಷಿತ ಬಳಕೆ.
2.ಗಾಳಿಯ ಹೊರತೆಗೆಯುವಿಕೆ ಅಸೆಂಬ್ಲಿಯು ಮೂಕ ಮತ್ತು ದಕ್ಷ ರೋಟರಿ ವೇನ್ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಪಂಪ್ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿರ್ವಾತ ಹಿನ್ನೆಲೆ ಪರಿಸರವನ್ನು ತ್ವರಿತವಾಗಿ ಪೂರೈಸುವ ಟರ್ಬೊ ಮಾಲಿಕ್ಯುಲರ್ ಪಂಪ್ ಸಿಸ್ಟಮ್ ಅನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ.ಪ್ರತಿರೋಧದ ಗೇಜ್ ಮತ್ತು ಅಯಾನೀಕರಣದ ಗೇಜ್ನೊಂದಿಗೆ ಸಂಯೋಜಿತ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಗೇಜ್ ಅನ್ನು ನಿರ್ವಾತ ಮಾಪನಕ್ಕಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಜೊತೆಗೆ ಕೆಪ್ಯಾಸಿಟಿವ್ ಫಿಲ್ಮ್ ಗೇಜ್ ಸಿಸ್ಟಮ್ ಅನ್ನು ವ್ಯಾಪಕ ಶ್ರೇಣಿಯಲ್ಲಿ ವಿವಿಧ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಅನಿಲಗಳ ಒತ್ತಡವನ್ನು ಅಳೆಯಬಹುದು.ಠೇವಣಿ ಒತ್ತಡವು ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರವಾದ ಅನುಪಾತದ ನಿಯಂತ್ರಣ ಕವಾಟದಿಂದ ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತವಾಗಿ ನಿಯಂತ್ರಿಸಲ್ಪಡುತ್ತದೆ.
3. ಕೂಲಿಂಗ್ ವಾಟರ್ ಘಟಕವು ಬಹು-ಚಾನಲ್ ನೀರಿನ ಒತ್ತಡ, ಹರಿವು, ತಾಪಮಾನ ಮಾಪನ ಮತ್ತು ಸಾಫ್ಟ್‌ವೇರ್ ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಮಾನಿಟರಿಂಗ್‌ನೊಂದಿಗೆ ಸಜ್ಜುಗೊಂಡಿದೆ.ವಿಭಿನ್ನ ಕೂಲಿಂಗ್ ಘಟಕಗಳು ಪರಸ್ಪರ ಸ್ವತಂತ್ರವಾಗಿರುತ್ತವೆ, ಇದು ತ್ವರಿತ ದೋಷ ರೋಗನಿರ್ಣಯಕ್ಕೆ ಅನುಕೂಲಕರವಾಗಿದೆ.ಎಲ್ಲಾ ಶಾಖೆಗಳು ಸ್ವತಂತ್ರ ಕವಾಟ ಸ್ವಿಚ್ಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿವೆ, ಇದು ಸುರಕ್ಷಿತ ಮತ್ತು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿದೆ.
4.ವಿದ್ಯುತ್ ನಿಯಂತ್ರಣ ಘಟಕಗಳು ದೊಡ್ಡ ಗಾತ್ರದ ಮ್ಯಾನ್-ಮೆಷಿನ್ ಇಂಟರ್ಫೇಸ್ LCD ಪರದೆಯನ್ನು ಅಳವಡಿಸಿಕೊಳ್ಳುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಸೂತ್ರದ ಸಂಪಾದನೆ ಮತ್ತು ಆಮದು ಮಾಡಿಕೊಳ್ಳಲು PLC ಪೂರ್ಣ-ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ನಿಯಂತ್ರಣದೊಂದಿಗೆ ಸಹಕರಿಸುತ್ತವೆ.ಚಿತ್ರಾತ್ಮಕ ವಕ್ರರೇಖೆಯು ವಿವಿಧ ನಿಯತಾಂಕಗಳ ಬದಲಾವಣೆಗಳು ಮತ್ತು ಮೌಲ್ಯಗಳನ್ನು ದೃಷ್ಟಿಗೋಚರವಾಗಿ ಪ್ರದರ್ಶಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸಮಸ್ಯೆ ಪತ್ತೆಹಚ್ಚುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಡೇಟಾ ಅಂಕಿಅಂಶಗಳ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆಗೆ ಅನುಕೂಲವಾಗುವಂತೆ ಉಪಕರಣಗಳು ಮತ್ತು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ನಿಯತಾಂಕಗಳನ್ನು ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತವಾಗಿ ದಾಖಲಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಆರ್ಕೈವ್ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ.
5. ವರ್ಕ್‌ಪೀಸ್ ರಾಕ್‌ನಲ್ಲಿ ತಲಾಧಾರದ ಟೇಬಲ್ ಅನ್ನು ಎತ್ತುವ ಮತ್ತು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುವುದನ್ನು ನಿಯಂತ್ರಿಸಲು ಸರ್ವೋ ಮೋಟರ್ ಅನ್ನು ಅಳವಡಿಸಲಾಗಿದೆ.ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಅಥವಾ ಕೆಂಪು ತಾಮ್ರದ ತಲಾಧಾರದ ಟೇಬಲ್ ಅನ್ನು ಆಯ್ಕೆ ಮಾಡಬಹುದು.ತಾಪಮಾನವನ್ನು ಥರ್ಮೋಕೂಲ್ ಮೂಲಕ ಅಳೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ.
6.ಗ್ರಾಹಕರ ವಿಶೇಷ ನಿರ್ವಹಣೆ ಅಗತ್ಯತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಲು ರ್ಯಾಕ್ ಘಟಕಗಳನ್ನು ಒಟ್ಟಾರೆಯಾಗಿ ಅಥವಾ ಗ್ರಾಹಕರ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳಿಗೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿ ಪ್ರತ್ಯೇಕವಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಬಹುದು.
7. ಸೀಲಿಂಗ್ ಪ್ಲೇಟ್ ಘಟಕಗಳು ಸುಂದರ ಮತ್ತು ಸೊಗಸಾದ.ಸಲಕರಣೆಗಳ ವಿವಿಧ ಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಮಾಡ್ಯೂಲ್ ಪ್ರದೇಶಗಳಲ್ಲಿ ಸೀಲಿಂಗ್ ಪ್ಲೇಟ್ಗಳನ್ನು ತ್ವರಿತವಾಗಿ ಡಿಸ್ಅಸೆಂಬಲ್ ಮಾಡಬಹುದು ಅಥವಾ ಸ್ವತಂತ್ರವಾಗಿ ತೆರೆಯಬಹುದು ಮತ್ತು ಮುಚ್ಚಬಹುದು, ಇದು ಬಳಸಲು ತುಂಬಾ ಅನುಕೂಲಕರವಾಗಿದೆ.

ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್ ಲೇಪನ, ಸ್ವಯಂ-ಪೋಷಕ ದಪ್ಪ ಫಿಲ್ಮ್, ಮೈಕ್ರೋಕ್ರಿಸ್ಟಲಿನ್ ಮತ್ತು ನ್ಯಾನೊಕ್ರಿಸ್ಟಲಿನ್ ಡೈಮಂಡ್, ವಾಹಕ ವಜ್ರ, ಇತ್ಯಾದಿ ಸೇರಿದಂತೆ ವಜ್ರದ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಠೇವಣಿ ಮಾಡಲು ಬಿಸಿ ತಂತು CVD ಉಪಕರಣವು ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ. ಇದನ್ನು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಸಿಮೆಂಟೆಡ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಕತ್ತರಿಸುವ ಉಪಕರಣಗಳು, ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ವಸ್ತುಗಳ ಉಡುಗೆ-ನಿರೋಧಕ ರಕ್ಷಣಾತ್ಮಕ ಲೇಪನಕ್ಕಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಉದಾಹರಣೆಗೆ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್, ಸಾಧನಗಳ ಶಾಖ ಪ್ರಸರಣ ಲೇಪನ, ಬೋರಾನ್ ಡೋಪ್ಡ್ ಕಂಡಕ್ಟಿವ್ ಡೈಮಂಡ್ ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಡ್, ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಲೈಟಿಕ್ ನೀರಿನ ಓಝೋನ್ ಸೋಂಕುಗಳೆತ ಅಥವಾ ಒಳಚರಂಡಿ ಸಂಸ್ಕರಣೆ.