HFCVD0606

Il-kamra tal-kisi bil-vakwu tat-tagħmir ta 'depożizzjoni tal-fwar kimiku tadotta struttura indipendenti li tkessaħ l-ilma b'saff doppju, li hija effiċjenti u uniformi fit-tkessiħ, u għandha struttura sigura u stabbli.It-tagħmir huwa ddisinjat b'bibien doppji, twieqi ta 'osservazzjoni multipli u interfaces ta' espansjoni multipli, li huwa konvenjenti għal konnessjoni esterna ta 'periferali awżiljarji bħal kejl tat-temperatura infrared, analiżi spettrali, monitoraġġ tal-vidjo u termokoppja.Il-kunċett tad-disinn avvanzat jagħmel ir-reviżjoni u l-manutenzjoni ta 'kuljum, il-bidla fil-konfigurazzjoni u l-aġġornament tat-tagħmir faċli u sempliċi, u jnaqqas b'mod effettiv l-ispejjeż tal-użu u tal-aġġornament.

Karatteristiċi tat-tagħmir:

1.Il-komponenti tal-inflazzjoni tat-tagħmir jinkludu prinċipalment miter tal-fluss tal-massa, valv tas-solenojd u tank tat-taħlit tal-gass, li jiżguraw il-kontroll preċiż tal-fluss tal-gass tal-proċess, taħlit uniformi u iżolament sikur ta 'gassijiet differenti, u jistgħu jagħżlu komponenti tas-sistema tal-gass għall-użu ta' sors ta 'gass likwidu, jiffaċilita l-għażla personalizzata ta' firxa wiesgħa ta 'sorsi ta' karbonju likwidu, u l-użu sikur ta 'djamanti konduttivi sintetiċi u sorsi ta' boron likwidu ta 'elettrodu.
2.L-assemblaġġ ta 'estrazzjoni ta' l-arja huwa mgħammar b'pompa tal-vakwu tal-vakwu li jdur siekta u effiċjenti u sistema ta 'pompa turbomolekulari li tista' malajr tilħaq l-ambjent ta 'sfond ta' vakwu għoli.Il-gauge tal-vakwu kompost b'kejl tar-reżistenza u gauge tal-jonizzazzjoni jintuża għall-kejl tal-vakwu, kif ukoll is-sistema tal-kejl tal-film abilità li tista 'tkejjel il-pressjoni ta' gassijiet ta 'proċess differenti f'firxa wiesgħa.Il-pressjoni tad-depożizzjoni hija kompletament awtomatika kkontrollata minn valv ta 'kontroll proporzjonali ta' preċiżjoni għolja.
3.Il-komponent tal-ilma li jkessaħ huwa mgħammar bi pressjoni tal-ilma b'ħafna kanali, fluss, kejl tat-temperatura u monitoraġġ awtomatiku tas-softwer.Komponenti tat-tkessiħ differenti huma indipendenti minn xulxin, li huwa konvenjenti għal dijanjosi ta 'ħsara rapida.Il-fergħat kollha għandhom swiċċijiet tal-valv indipendenti, li huma siguri u effiċjenti.
4.Il-komponenti ta 'kontroll elettriku jadottaw skrin LCD ta' interface bniedem-magna ta 'daqs kbir u jikkoperaw mal-kontroll awtomatiku sħiħ PLC biex jiffaċilitaw l-editjar u l-importazzjoni tal-formula tal-proċess.Il-kurva grafika turi viżwalment il-bidliet u l-valuri ta 'diversi parametri, u t-tagħmir u l-parametri tal-proċess huma rreġistrati u arkivjati awtomatikament biex jiffaċilitaw it-traċċar tal-problema u l-analiżi statistika tad-dejta.
5.L-ixtilliera tal-biċċa tax-xogħol hija mgħammra b'mutur servo biex tikkontrolla l-irfigħ u t-tnaqqis tat-tabella tas-sottostrat.It-tabella tas-sottostrat tal-grafita jew tar-ram aħmar tista 'tintgħażel.It-temperatura titkejjel b'thermocouple.
6.Il-komponenti tar-rack jistgħu jiġu ddisinjati kollha kemm huma jew separatament skont ir-rekwiżiti tal-klijenti biex jissodisfaw ir-rekwiżiti speċjali tal-immaniġġjar tal-klijenti.
7.Il-komponenti tal-pjanċa tas-siġillar huma sbieħ u eleganti.Il-pjanċi tas-siġillar f'żoni ta 'modulu funzjonali differenti tat-tagħmir jistgħu jiġu żarmati malajr jew jinfetħu u jingħalqu b'mod indipendenti, li huwa konvenjenti ħafna biex jintuża.

Tagħmir CVD tal-filament sħun huwa adattat biex jiddepożita materjali tad-djamanti, inkluż kisi ta 'film irqiq, film oħxon li jsostni lilu nnifsu, djamant mikrokristallin u nanokristallin, djamant konduttiv, eċċ Huwa prinċipalment użat għal kisja protettiva reżistenti għall-ilbies ta' għodod tal-qtugħ tal-karbur tas-siment, materjali semikondutturi bħal silikon u karbur tas-silikon, kisi ta 'dissipazzjoni tas-sħana ta' apparati, elettrodu tad-djamant konduttiv drogat bil-boron, diżinfezzjoni ta 'l-ożonu ta' ilma elettrolitiku jew trattament tad-drenaġġ.