RCW600

科学研究用の特殊巻線コーティング装置

マルチターゲット設計、柔軟なプロセス

科学研究およびプロセス開発に特化

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製品説明

この一連の装置は、マグネトロンターゲットを用いてコーティング材料をナノメートルサイズの粒子に変換し、基板表面に堆積させて薄膜を形成します。巻かれたフィルムは真空チャンバー内に配置されます。電動式の巻線構造により、フィルムの一端はフィルムを受け取り、もう一端はフィルムを配置します。フィルムはターゲット領域を通過し続け、ターゲット粒子を受け取って緻密な膜を形成します。
特性：

1. 低温フィルム成形。温度によるフィルムへの影響が少なく、変形も発生しません。PET、PIなどの基材コイルフィルムに適しています。
2. 膜厚を設計できる。プロセス調整により、薄膜または厚膜を設計・成膜できる。
3. 複数のターゲット位置設計、柔軟なプロセス。本装置には最大8つのターゲットを搭載でき、単純な金属ターゲット、化合物ターゲット、酸化物ターゲットのいずれとしても使用可能です。単一構造の単層膜、または複合構造の多層膜の作製に使用できます。プロセスは非常に柔軟です。

この装置は、電磁シールドフィルム、フレキシブル回路基板コーティング、各種誘電体フィルム、多層AR反射防止フィルム、HR高反射防止フィルム、カラーフィルムなどを製造できます。この装置は非常に幅広い用途に対応し、単層フィルムの成膜は一度の成膜で完了できます。
この装置は、Al、Cr、Cu、Fe、Ni、SUS、TiAlなどの単純な金属ターゲット、またはSiO2、Si3N4、Al2O3、SnO2、ZnO、Ta2O5、ITO、AZOなどの複合ターゲットを採用できます。

本装置は小型で、構造設計もコンパクト、設置面積も小さく、エネルギー消費量も少なく、調整も柔軟です。プロセス研究開発や少量生産に最適です。