Este equipo utiliza blancos de magnetrón para convertir los materiales de recubrimiento en partículas de tamaño nanométrico, que se depositan sobre la superficie de los sustratos para formar películas delgadas. La película enrollada se coloca en la cámara de vacío. Mediante una estructura de bobinado accionada eléctricamente, un extremo recibe la película y el otro la deposita. Continúa su recorrido a través del área de blancos, donde recibe las partículas objetivo para formar una película densa.
Característica:
1. Formación de película a baja temperatura. La temperatura tiene poco efecto sobre la película y no produce deformación. Es adecuada para películas en bobina de PET, PI y otros materiales base.
2. El espesor de la película se puede diseñar. Mediante el ajuste del proceso, se pueden diseñar y depositar recubrimientos delgados o gruesos.
3. Diseño con múltiples puntos de fijación y proceso flexible. La máquina puede equiparse con ocho puntos de fijación, que pueden utilizarse como blancos metálicos simples o compuestos y de óxido. Permite la preparación de películas monocapa con estructura simple o películas multicapa con estructura compuesta. El proceso es muy flexible.
El equipo puede preparar películas de blindaje electromagnético, recubrimientos para placas de circuitos flexibles, diversas películas dieléctricas, películas antirreflectantes AR multicapa, películas antirreflectantes HR de alta reflectancia, películas de color, etc. El equipo tiene una gama muy amplia de aplicaciones, y la deposición de películas de una sola capa se puede completar mediante una única deposición de película.
El equipo puede utilizar objetivos metálicos simples como Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl, etc., o objetivos compuestos como SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO, etc.
El equipo es de tamaño reducido, diseño compacto, ocupa poco espacio, consume poca energía y ofrece gran flexibilidad de ajuste. Es ideal para la investigación y el desarrollo de procesos o la producción en masa de lotes pequeños.