RCW600

Táto séria zariadení využíva magnetrónové terče na premenu povlakových materiálov na častice s veľkosťou nanometrov, ktoré sa ukladajú na povrch substrátov a vytvárajú tenké filmy.Zvinutý film sa umiestni do vákuovej komory.Cez elektricky poháňanú štruktúru navíjania jeden koniec prijíma fóliu a druhý vkladá fóliu.Pokračuje v prechode cieľovou oblasťou a prijíma cieľové častice za vzniku hustého filmu.
Charakteristika:

1. Vytváranie filmu pri nízkej teplote.Teplota má malý vplyv na fóliu a nespôsobí deformáciu.Je vhodný pre fólie z PET, PI a iných základných materiálov.
2. Hrúbka fólie môže byť navrhnutá.Tenké alebo hrubé povlaky môžu byť navrhnuté a nanesené úpravou procesu.
3. Návrh viacerých cieľových umiestnení, flexibilný proces.Celý stroj je možné vybaviť ôsmimi terčmi, ktoré je možné použiť buď ako jednoduché kovové terče alebo zložené a oxidové terče.Môže sa použiť na prípravu jednovrstvových fólií s jednoduchou štruktúrou alebo viacvrstvových fólií s kompozitnou štruktúrou.Proces je veľmi flexibilný.

Zariadenie dokáže pripraviť elektromagnetickú tieniacu fóliu, flexibilný náter plošných spojov, rôzne dielektrické fólie, viacvrstvovú antireflexnú fóliu AR, vysoko antireflexnú fóliu HR, farebný film atď. Zariadenie má veľmi široký rozsah aplikácií a nanášanie jednovrstvových fólií možno dokončiť jednorazovým uložením filmu.
Zariadenie môže prijať jednoduché kovové terče ako Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl atď., alebo zložené terče ako SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO atď.

Zariadenie má malú veľkosť, kompaktnú konštrukciu, malú podlahovú plochu, nízku spotrebu energie a flexibilné nastavenie.Je veľmi vhodný pre procesný výskum a vývoj alebo malosériovú hromadnú výrobu.