Ta seria urządzeń wykorzystuje tarcze magnetronowe do przekształcania materiałów powłokowych w cząsteczki o rozmiarze nanometrów, które osadzane są na powierzchni podłoży, tworząc cienkie warstwy. Zrolowana warstwa jest umieszczana w komorze próżniowej. Przez elektrycznie napędzaną strukturę uzwojenia, jeden koniec przyjmuje warstwę, a drugi ją nakłada. Następnie przechodzi ona przez obszar docelowy i przyjmuje cząsteczki docelowe, tworząc gęstą warstwę.
Charakterystyczny:
1. Formowanie folii w niskiej temperaturze. Temperatura ma niewielki wpływ na folię i nie powoduje jej odkształcania. Nadaje się do folii z PET, PI i innych materiałów bazowych w rolkach.
2. Grubość powłoki można zaprojektować. Powłoki cienkie lub grube można zaprojektować i nałożyć poprzez regulację procesu.
3. Konstrukcja z wieloma miejscami na tarcze, elastyczny proces. Cała maszyna może być wyposażona w osiem tarcz, które mogą być używane jako proste tarcze metalowe lub tarcze złożone i tlenkowe. Maszyna może być używana do przygotowywania folii jednowarstwowych o pojedynczej strukturze lub folii wielowarstwowych o strukturze kompozytowej. Proces jest bardzo elastyczny.
Urządzenie może przygotowywać folie ekranujące elektromagnetycznie, elastyczne powłoki płytek drukowanych, różnego rodzaju folie dielektryczne, wielowarstwowe folie antyrefleksyjne AR, folie antyrefleksyjne HR o wysokim stopniu odporności na odbicia, folie kolorowe itp. Urządzenie ma bardzo szeroki zakres zastosowań, a osadzanie folii jednowarstwowej można wykonać poprzez jednorazowe osadzanie folii.
Urządzenie może przyjmować proste tarcze metalowe, takie jak Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl itp. lub tarcze złożone, takie jak SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO itp.
Urządzenie charakteryzuje się niewielkimi rozmiarami, kompaktową konstrukcją, niewielką powierzchnią, niskim zużyciem energii i elastycznością regulacji. Doskonale nadaje się do badań i rozwoju procesów lub produkcji masowej w małych partiach.