இந்த உபகரணத் தொடரானது, மேக்னட்ரான் இலக்குகளைப் பயன்படுத்தி பூச்சுப் பொருட்களை நானோமீட்டர் அளவுள்ள துகள்களாக மாற்றுகிறது. இந்தத் துகள்கள், மெல்லிய படலங்களை உருவாக்குவதற்காக அடி மூலக்கூறுகளின் மேற்பரப்பில் படியவைக்கப்படுகின்றன. இவ்வாறு சுருட்டப்பட்ட படலம் வெற்றிட அறைக்குள் வைக்கப்படுகிறது. மின்சாரத்தால் இயக்கப்படும் சுருள் அமைப்பின் வழியாக, அதன் ஒரு முனை படலத்தைப் பெற்றுக்கொள்கிறது, மறுமுனை படலத்தை வெளியே தள்ளுகிறது. அது தொடர்ந்து இலக்குப் பகுதி வழியாகச் சென்று, இலக்குத் துகள்களைப் பெற்று ஒரு அடர்த்தியான படலத்தை உருவாக்குகிறது.
சிறப்பியல்பு:
1. குறைந்த வெப்பநிலையில் படலம் உருவாக்குதல். வெப்பநிலையானது படலத்தின் மீது சிறிதளவே தாக்கத்தை ஏற்படுத்தும் மற்றும் உருக்குலைவை ஏற்படுத்தாது. இது PET, PI மற்றும் பிற மூலப்பொருட்களால் ஆன சுருள் படலங்களுக்கு ஏற்றது.
2. படலத்தின் தடிமனை வடிவமைக்க முடியும். செயல்முறை சரிசெய்தல் மூலம் மெல்லிய அல்லது தடிமனான பூச்சுகளை வடிவமைத்து படியவைக்கலாம்.
3. பல இலக்கு இட வடிவமைப்பு, நெகிழ்வான செயல்முறை. இந்த முழு இயந்திரத்திலும் எட்டு இலக்குகளைப் பொருத்த முடியும், அவற்றை எளிய உலோக இலக்குகளாகவோ அல்லது கலவை மற்றும் ஆக்சைடு இலக்குகளாகவோ பயன்படுத்தலாம். ஒற்றைக் கட்டமைப்புடன் கூடிய ஒற்றை அடுக்கு படலங்களையோ அல்லது கலப்புக் கட்டமைப்புடன் கூடிய பல அடுக்கு படலங்களையோ தயாரிக்க இதைப் பயன்படுத்தலாம். இந்தச் செயல்முறை மிகவும் நெகிழ்வானது.
இந்தக் கருவியால் மின்காந்தத் தடுப்புப் படலம், நெகிழ்வுச் சுற்றுப் பலகைப் பூச்சு, பல்வேறு மின்காப்புப் படலங்கள், பல அடுக்கு AR எதிரொளிப்புத் தடுப்புப் படலம், HR உயர் எதிரொளிப்புத் தடுப்புப் படலம், வண்ணப் படலம் போன்றவற்றைத் தயாரிக்க முடியும். இந்தக் கருவி மிகவும் பரந்த அளவிலான பயன்பாடுகளைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் ஒற்றை அடுக்கு படலப் படிவை ஒரே முறை படலப் படிவின் மூலம் முடிக்க முடியும்.
இந்த உபகரணமானது Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl போன்ற எளிய உலோக இலக்குகளையோ அல்லது SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO போன்ற கலப்பு இலக்குகளையோ பயன்படுத்த முடியும்.
இந்த உபகரணம் அளவில் சிறியது, கச்சிதமான கட்டமைப்பு வடிவமைப்பைக் கொண்டது, குறைந்த பரப்பளவைக் கொண்டது, குறைந்த ஆற்றலை நுகரும், மற்றும் நெகிழ்வாக சரிசெய்யக்கூடியது. இது செயல்முறை ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாட்டிற்காகவோ அல்லது சிறிய அளவிலான பெருமளவு உற்பத்திக்காகவோ மிகவும் பொருத்தமானது.