RCW600

Tato řada zařízení využívá magnetronové terče k přeměně povlakových materiálů na částice o velikosti nanometrů, které se ukládají na povrch substrátů a vytvářejí tenké filmy.Svinutá fólie se umístí do vakuové komory.Prostřednictvím elektricky poháněné navíjecí struktury jeden konec přijímá fólii a druhý vkládá fólii.Pokračuje v průchodu cílovou oblastí a přijímá cílové částice, aby vytvořily hustý film.
Charakteristický:

1. Nízkoteplotní tvorba filmu.Teplota má malý vliv na film a nezpůsobí deformaci.Je vhodný pro PET, PI a další základní materiály cívkové fólie.
2. Tloušťku fólie lze navrhnout.Tenké nebo silné povlaky mohou být navrženy a nanášeny úpravou procesu.
3. Návrh umístění více cílů, flexibilní proces.Celý stroj může být vybaven osmi terči, které lze použít buď jako jednoduché kovové terče, nebo terče složené a oxidové.Lze jej použít k přípravě jednovrstvých filmů s jednoduchou strukturou nebo vícevrstvých filmů s kompozitní strukturou.Proces je velmi flexibilní.

Zařízení dokáže připravit elektromagnetickou stínící fólii, flexibilní povrchovou úpravu desek plošných spojů, různé dielektrické fólie, vícevrstvé antireflexní fólie AR, vysoce antireflexní fólie HR, barevné fólie atd. zařízení má velmi širokou škálu aplikací a nanášení jednovrstvých fólií lze dokončit jednorázovou depozicí filmu.
Zařízení může používat jednoduché kovové terče jako Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl atd., nebo složené terče jako SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO atd.

Zařízení má malé rozměry, kompaktní konstrukci, malou podlahovou plochu, nízkou spotřebu energie a flexibilní nastavení.Je velmi vhodný pro procesní výzkum a vývoj nebo malosériovou hromadnou výrobu.