RCW600

อุปกรณ์ชุดนี้ใช้เป้าหมายแมกเนตรอนในการเปลี่ยนวัสดุเคลือบให้เป็นอนุภาคขนาดนาโนเมตร ซึ่งจะถูกนำไปเคลือบลงบนพื้นผิวของวัสดุรองรับเพื่อสร้างเป็นฟิล์มบาง ฟิล์มที่ม้วนแล้วจะถูกวางไว้ในห้องสุญญากาศ ผ่านโครงสร้างการม้วนที่ขับเคลื่อนด้วยไฟฟ้า ปลายด้านหนึ่งจะรับฟิล์ม และอีกด้านหนึ่งจะวางฟิล์มลงไป จากนั้นจะเคลื่อนผ่านบริเวณเป้าหมายและรับอนุภาคเป้าหมายเพื่อสร้างฟิล์มที่มีความหนาแน่นสูง
ลักษณะเฉพาะ:

1. การขึ้นรูปฟิล์มที่อุณหภูมิต่ำ อุณหภูมิมีผลกระทบต่อฟิล์มน้อยมากและจะไม่ทำให้เกิดการเสียรูป เหมาะสำหรับฟิล์มม้วนที่ทำจาก PET, PI และวัสดุพื้นฐานอื่นๆ
2. สามารถออกแบบความหนาของฟิล์มได้ สามารถออกแบบและเคลือบฟิล์มให้บางหรือหนาได้โดยการปรับกระบวนการ
3. การออกแบบตำแหน่งเป้าหมายหลายตำแหน่ง กระบวนการที่ยืดหยุ่น เครื่องจักรทั้งหมดสามารถติดตั้งเป้าหมายได้แปดชิ้น ซึ่งสามารถใช้เป็นเป้าหมายโลหะธรรมดา หรือเป้าหมายสารประกอบและออกไซด์ก็ได้ สามารถใช้ในการเตรียมฟิล์มชั้นเดียวที่มีโครงสร้างเดี่ยว หรือฟิล์มหลายชั้นที่มีโครงสร้างผสม กระบวนการมีความยืดหยุ่นสูง

อุปกรณ์นี้สามารถเตรียมฟิล์มป้องกันคลื่นแม่เหล็กไฟฟ้า ฟิล์มเคลือบแผงวงจรแบบยืดหยุ่น ฟิล์มไดอิเล็กทริกชนิดต่างๆ ฟิล์มป้องกันการสะท้อนแสงแบบหลายชั้น ฟิล์มป้องกันการสะท้อนแสงความละเอียดสูง ฟิล์มสี ฯลฯ อุปกรณ์นี้มีช่วงการใช้งานที่กว้างมาก และสามารถทำการเคลือบฟิล์มชั้นเดียวให้เสร็จสมบูรณ์ได้ด้วยการเคลือบฟิล์มเพียงครั้งเดียว
อุปกรณ์นี้สามารถใช้เป้าหมายโลหะอย่างง่าย เช่น Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl เป็นต้น หรือเป้าหมายแบบผสม เช่น SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO เป็นต้น

อุปกรณ์นี้มีขนาดเล็ก โครงสร้างกะทัดรัด ใช้พื้นที่น้อย ประหยัดพลังงาน และปรับแต่งได้ยืดหยุ่น เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการวิจัยและพัฒนา หรือการผลิตจำนวนมากในปริมาณน้อย