এই সিরিজের সরঞ্জাম ম্যাগনেট্রন টার্গেট ব্যবহার করে কোটিং উপাদানকে ন্যানোমিটার আকারের কণায় রূপান্তরিত করে, যা সাবস্ট্রেটের পৃষ্ঠে জমা হয়ে পাতলা ফিল্ম তৈরি করে। পেঁচানো ফিল্মটি ভ্যাকুয়াম চেম্বারে রাখা হয়। বৈদ্যুতিকভাবে চালিত ওয়াইন্ডিং কাঠামোর মাধ্যমে, এর এক প্রান্ত ফিল্মটি গ্রহণ করে এবং অন্য প্রান্তটি ফিল্মটিকে আটকে রাখে। এটি টার্গেট এলাকার মধ্য দিয়ে ক্রমাগত যেতে থাকে এবং টার্গেট কণাগুলো গ্রহণ করে একটি ঘন ফিল্ম তৈরি করে।
বৈশিষ্ট্য:
১. নিম্ন তাপমাত্রায় ফিল্ম গঠন। তাপমাত্রার প্রভাব ফিল্মের উপর সামান্য থাকে এবং এতে কোনো বিকৃতি ঘটে না। এটি PET, PI এবং অন্যান্য বেস মেটেরিয়াল কয়েল ফিল্মের জন্য উপযুক্ত।
২. ফিল্মের পুরুত্ব ডিজাইন করা যায়। প্রসেস সমন্বয়ের মাধ্যমে পাতলা বা পুরু প্রলেপ ডিজাইন ও জমা করা যেতে পারে।
৩. একাধিক টার্গেট অবস্থানের ডিজাইন, নমনীয় প্রক্রিয়া। পুরো মেশিনটিতে আটটি টার্গেট লাগানো যেতে পারে, যেগুলো সাধারণ ধাতব টার্গেট অথবা যৌগ ও অক্সাইড টার্গেট হিসেবে ব্যবহার করা যায়। এটি দিয়ে একক কাঠামোযুক্ত একক-স্তর ফিল্ম অথবা যৌগিক কাঠামোযুক্ত বহু-স্তর ফিল্ম তৈরি করা যায়। এই প্রক্রিয়াটি অত্যন্ত নমনীয়।
এই সরঞ্জামটি ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক শিল্ডিং ফিল্ম, ফ্লেক্সিবল সার্কিট বোর্ড কোটিং, বিভিন্ন ডাইইলেকট্রিক ফিল্ম, বহুস্তরীয় এআর অ্যান্টিরিফ্লেকশন ফিল্ম, এইচআর হাই অ্যান্টিরিফ্লেকশন ফিল্ম, কালার ফিল্ম ইত্যাদি প্রস্তুত করতে পারে। এই সরঞ্জামটির প্রয়োগক্ষেত্র অত্যন্ত বিস্তৃত এবং একবারে ফিল্ম ডিপোজিশনের মাধ্যমে একক-স্তর ফিল্মের কাজ সম্পন্ন করা যায়।
এই সরঞ্জামটি Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl ইত্যাদির মতো সাধারণ ধাতব টার্গেট, অথবা SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO ইত্যাদির মতো যৌগিক টার্গেট ব্যবহার করতে পারে।
যন্ত্রটি আকারে ছোট, এর গঠনশৈলী সুসংহত, কম জায়গা নেয়, শক্তি খরচ কম এবং এটি সহজে সমন্বয় করা যায়। এটি প্রক্রিয়া গবেষণা ও উন্নয়ন অথবা স্বল্প পরিমাণে ব্যাপক উৎপাদনের জন্য খুবই উপযুক্ত।