RCW600

Cette série d'équipements utilise des cibles magnétroniques pour convertir les matériaux de revêtement en particules nanométriques, lesquelles sont déposées sur la surface de substrats pour former des films minces. Le film enroulé est placé dans une chambre à vide. Grâce à un système d'enroulement à commande électrique, une extrémité du film est reçue et l'autre déposée. Le film traverse ensuite la zone cible et se charge de particules pour former un film dense.
Caractéristiques:

1. Formation de film à basse température. La température a peu d'influence sur le film et ne provoque aucune déformation. Convient aux films en bobine à base de PET, PI et autres matériaux.
2. L'épaisseur du film peut être conçue. Des revêtements minces ou épais peuvent être conçus et déposés par ajustement du procédé.
3. Conception à cibles multiples, procédé flexible. La machine peut être équipée de huit cibles, utilisables en métal simple ou en composite et oxyde. Elle permet la préparation de films monocouches à structure simple ou de films multicouches à structure composite. Le procédé est très flexible.

Cet équipement permet de préparer des films de blindage électromagnétique, des revêtements pour circuits imprimés flexibles, divers films diélectriques, des films antireflets multicouches AR, des films antireflets haute résolution HR, des films de couleur, etc. Il possède un très large éventail d'applications et le dépôt de films monocouches peut être réalisé en une seule étape.
L'équipement peut adopter des cibles métalliques simples telles que Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl, etc., ou des cibles composées telles que SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO, etc.

Cet équipement, de petite taille, de conception compacte et peu encombrant, consomme peu d'énergie et offre une grande flexibilité de réglage. Il est parfaitement adapté à la recherche et au développement de procédés ou à la production en petites séries.