आरसीडब्ल्यू६००

उपकरणांची ही मालिका कोटिंग मटेरियलचे नॅनोमीटर आकाराच्या कणांमध्ये रूपांतर करण्यासाठी मॅग्नेट्रॉन टार्गेटचा वापर करते, जे पातळ थर तयार करण्यासाठी सब्सट्रेटच्या पृष्ठभागावर जमा केले जातात. गुंडाळलेला थर व्हॅक्यूम चेंबरमध्ये ठेवला जातो. विद्युतचलित विंडिंग रचनेद्वारे, एक टोक थर स्वीकारते आणि दुसरे टोक थर पुढे ढकलते. ते टार्गेट क्षेत्रातून पुढे जात राहते आणि टार्गेटचे कण स्वीकारून एक दाट थर तयार करते.
वैशिष्ट्य:

१. कमी तापमानात फिल्म तयार करणे. तापमानाचा फिल्मवर फारसा परिणाम होत नाही आणि त्यामुळे विकृती निर्माण होत नाही. हे PET, PI आणि इतर मूळ सामग्रीच्या कॉइल फिल्म्ससाठी योग्य आहे.
२. फिल्मची जाडी डिझाइन केली जाऊ शकते. प्रक्रियेत बदल करून पातळ किंवा जाड थर डिझाइन करून जमा केले जाऊ शकतात.
३. एकाधिक लक्ष्य स्थानांची रचना, लवचिक प्रक्रिया. संपूर्ण यंत्राला आठ लक्ष्ये बसवता येतात, ज्यांचा वापर साधी धातूची लक्ष्ये किंवा संयुक्त आणि ऑक्साइड लक्ष्ये म्हणून केला जाऊ शकतो. याचा उपयोग एकल संरचनेच्या एकल-स्तरीय फिल्म्स किंवा संमिश्र संरचनेच्या बहु-स्तरीय फिल्म्स तयार करण्यासाठी केला जाऊ शकतो. ही प्रक्रिया अत्यंत लवचिक आहे.

या उपकरणाद्वारे इलेक्ट्रोमॅग्नेटिक शिल्डिंग फिल्म, फ्लेक्सिबल सर्किट बोर्ड कोटिंग, विविध डायलेक्ट्रिक फिल्म्स, मल्टी-लेयर एआर अँटीरिफ्लेक्शन फिल्म, एचआर हाय अँटीरिफ्लेक्शन फिल्म, कलर फिल्म इत्यादी तयार करता येतात. या उपकरणाचा उपयोग खूप विस्तृत आहे आणि एकाच वेळी फिल्म डिपॉझिशन करून सिंगल-लेयर फिल्म डिपॉझिशन पूर्ण करता येते.
उपकरणामध्ये Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl, इत्यादी साधे धातूंचे लक्ष्य किंवा SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO, इत्यादी संयुक्त लक्ष्य वापरता येतात.

हे उपकरण आकाराने लहान, रचनेच्या दृष्टीने सुटसुटीत, कमी जागा व्यापणारे, कमी ऊर्जा वापरणारे आणि समायोजनात लवचिक आहे. ते प्रक्रिया संशोधन आणि विकासासाठी किंवा कमी प्रमाणात मोठ्या प्रमाणावरील उत्पादनासाठी अत्यंत योग्य आहे.