実験用ロールツーロールコーティング装置は、マグネトロンスパッタリングと陰極アークを組み合わせたコーティング技術を採用しており、膜の緻密性と高いイオン化率の両方の要求を満たしています。装置は垂直構造で、ワークピース巻き取りシステムは真空チャンバー内に垂直に設置されています。マルチチャンバードア設計で、陰極はサイドドアに設置され、6セットの陰極源またはイオン源を設置できます。ドアを開けるとターゲットのメンテナンスや交換が可能です。この装置は、ワークピースの表面処理と多層コーティングを同時に行うことで、多層膜の成膜を実現します。様々な金属または複合コーティング材料に適しています。
本装置は、美しい外観、コンパクトな構造、省スペース、高度な自動化、シンプルで柔軟な操作性、安定した性能、容易なメンテナンスといった特長を備えています。特に研究室や大学での使用に適しています。お客様は、それぞれのニーズに合わせてお選びいただけます。
| オプションモデル | 機器のサイズ(幅) |
| RCW300 | 300mm |