RCW600

Ez a sorozat magnetron célpontokat használ a bevonó anyagok nanométer méretű részecskéivé történő átalakítására, amelyek a szubsztrátumok felületén vékony filmeket képeznek.A hengerelt fóliát a vákuumkamrába helyezzük.Az elektromosan hajtott tekercsszerkezeten keresztül az egyik vége fogadja a fóliát, a másik pedig ráhelyezi a fóliát.Továbbra is áthalad a célterületen, és befogadja a célszemcséket, hogy sűrű filmet képezzen.
Jellegzetes:

1. Alacsony hőmérsékletű filmképzés.A hőmérséklet csekély hatással van a filmre, és nem okoz deformációt.Alkalmas PET, PI és más alapanyagú tekercsfilmekhez.
2. A film vastagsága megtervezhető.Vékony vagy vastag bevonatok tervezése és lerakása folyamatbeállítással lehetséges.
3. Több célhely kialakítása, rugalmas folyamat.Az egész gép nyolc céltáblával szerelhető fel, amelyek akár egyszerű fémcélpontként, akár összetett és oxidcélpontként használhatók.Használható egyrétegű, egyszerkezetű vagy többrétegű, kompozit szerkezetű fóliák készítésére.A folyamat nagyon rugalmas.

A berendezés elektromágneses árnyékoló fóliát, rugalmas áramköri lapbevonatot, különféle dielektromos fóliákat, többrétegű AR tükröződésgátló fóliát, HR magas tükröződésgátló fóliát, színes fóliát stb. készíthet el. A berendezés nagyon széles alkalmazási körrel rendelkezik, és egyrétegű filmlerakással egyszeri filmlerakással teljesíthető.
A berendezés alkalmas egyszerű fémcélpontokra, mint például Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl stb., vagy összetett célokra, mint például SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO stb.

A berendezés kis méretű, kompakt szerkezetű, kis alapterületű, alacsony energiafelhasználású, rugalmas beállítású.Nagyon alkalmas folyamatkutatásra és fejlesztésre vagy kis tételes tömeggyártásra.