RCW600

Ин силсила таҷҳизот аз ҳадафҳои магнетронӣ барои табдил додани маводҳои рӯйпӯш ба зарраҳои андозаи нанометр истифода мебаранд, ки дар сатҳи субстратҳо ҷойгир карда мешаванд ва плёнкаҳои тунукро ташкил медиҳанд. Плёнкаи печонидашуда дар камераи вакуумӣ ҷойгир карда мешавад. Тавассути сохтори печкунии барқӣ, як нӯг плёнкаро қабул мекунад ва нӯги дигар плёнкаро мегузорад. Он аз минтақаи ҳадаф гузашта, зарраҳои ҳадафро қабул мекунад, то плёнкаи зичро ташкил диҳад.
Хусусият:

1. Ташаккули плёнка дар ҳарорати паст. Ҳарорат ба плёнка таъсири кам мерасонад ва деформатсияро ба вуҷуд намеорад. Он барои плёнкаҳои печдори PET, PI ва дигар маводи асосӣ мувофиқ аст.
2. Ғафсии плёнкаро метавон тарҳрезӣ кард. Рӯйпӯшҳои тунук ё ғафсро метавон бо роҳи танзими раванд тарҳрезӣ ва гузоштан кард.
3. Тарроҳии макони якчанд ҳадаф, раванди чандир. Тамоми мошин метавонад бо ҳашт ҳадаф муҷаҳҳаз бошад, ки онҳоро ҳамчун ҳадафҳои оддии металлӣ ё ҳадафҳои мураккаб ва оксидӣ истифода бурдан мумкин аст. Онро барои тайёр кардани плёнкаҳои якқабата бо сохтори ягона ё плёнкаҳои бисёрқабата бо сохтори мураккаб истифода бурдан мумкин аст. Раванд хеле чандир аст.

Таҷҳизот метавонад плёнкаи муҳофизатии электромагнитӣ, пӯшиши тахтаи схемавии чандир, плёнкаҳои гуногуни диэлектрикӣ, плёнкаи зиддиинъикоси бисёрқабата бо AR, плёнкаи зиддиинъикоси HR бо суръати баланд, плёнкаи ранга ва ғайраро омода кунад. Таҷҳизот доираи васеи татбиқ дорад ва ҷойгиркунии плёнкаи якқабата метавонад бо ҷойгиркунии яквақтаи плёнка анҷом дода шавад.
Таҷҳизот метавонад ҳадафҳои оддии металлӣ ба монанди Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl ва ғайраро ё ҳадафҳои мураккаб ба монанди SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO ва ғайраро қабул кунад.

Таҷҳизот андозаи хурд, тарҳи сохтори паймон, масоҳати фарш хурд, истеъмоли ками энергия ва танзими чандир дорад. Он барои таҳқиқот ва таҳияи равандҳо ё истеҳсоли оммавии партияҳои хурд хеле мувофиқ аст.