RCW600

Þessi röð af búnaði notar segulómamarkmið til að umbreyta húðunarefnum í nanómetra stórar agnir, sem eru settar á yfirborð hvarfefna til að mynda þunnar filmur.Valsfilman er sett í lofttæmishólfið.Í gegnum rafknúna vindabygginguna tekur annar endinn við filmunni og hinn setur filmuna.Það heldur áfram að fara í gegnum marksvæðið og tekur á móti markögnunum til að mynda þétta filmu.
Einkennandi:

1. Lágt hitastig filmumyndun.Hitastigið hefur lítil áhrif á filmuna og mun ekki valda aflögun.Það er hentugur fyrir PET, PI og önnur grunnefni spólufilmur.
2. Hægt er að hanna filmuþykktina.Hægt er að hanna og setja þunnt eða þykkt lag með ferlistillingu.
3. Margfeldi miða staðsetningu hönnun, sveigjanlegt ferli.Hægt er að útbúa alla vélina með átta skotmörkum, sem hægt er að nota sem annað hvort einföld málmmörk eða sem samsett og oxíð skotmörk.Það er hægt að nota til að undirbúa eins lags kvikmyndir með einni uppbyggingu eða fjöllaga kvikmyndir með samsettri uppbyggingu.Ferlið er mjög sveigjanlegt.

Búnaðurinn getur undirbúið rafsegulhlífðarfilmu, sveigjanlega hringrásarplötuhúð, ýmsar rafknúnar filmur, marglaga AR andvarpsfilmu, HR háa endurspeglunarfilmu, litfilmu osfrv. Búnaðurinn hefur mjög breitt notkunarsvið og einslags filmuútfellingu er hægt að ljúka við kvikmyndaútsetningu í eitt skipti.
Búnaðurinn getur tekið upp einföld málmmörk eins og Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl o.s.frv., Eða samsett markmið eins og SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO osfrv.

Búnaðurinn er lítill í sniðum, fyrirferðarlítill í hönnun, lítill að gólffleti, lítill orkunotkun og sveigjanlegur í aðlögun.Það er mjög hentugur fyrir ferli rannsóknir og þróun eða litla lotu fjöldaframleiðslu.