Ushbu uskunalar seriyasi qoplama materiallarini nanometr o'lchamidagi zarrachalarga aylantirish uchun magnetron nishonlardan foydalanadi, ular substratlar yuzasiga cho'kib, yupqa plyonkalar hosil qiladi. O'ralgan plyonka vakuum kamerasiga joylashtiriladi. Elektr bilan boshqariladigan o'rash konstruktsiyasi orqali bir uchi plyonkani qabul qiladi, ikkinchi uchi esa plyonkani qo'yadi. U nishon maydonidan o'tishda davom etadi va zich plyonka hosil qilish uchun nishon zarrachalarini qabul qiladi.
Xarakterli:
1. Past haroratli plyonka hosil qilish. Harorat plyonkaga kam ta'sir qiladi va deformatsiyaga olib kelmaydi. PET, PI va boshqa asosiy material bobin plyonkalari uchun mos keladi.
2. Plyonka qalinligini loyihalash mumkin. Yupqa yoki qalin qoplamalarni loyihalash va jarayonni sozlash orqali qo'llash mumkin.
3. Bir nechta nishon joylashuvini loyihalash, moslashuvchan jarayon. Butun mashina sakkizta nishon bilan jihozlanishi mumkin, ular oddiy metall nishonlar yoki aralash va oksid nishonlari sifatida ishlatilishi mumkin. Undan bitta tuzilishga ega bir qatlamli plyonkalar yoki kompozit tuzilishga ega ko'p qatlamli plyonkalar tayyorlash uchun foydalanish mumkin. Jarayon juda moslashuvchan.
Uskunalar elektromagnit ekranlash plyonkasi, egiluvchan elektron plata qoplamasi, turli xil dielektrik plyonkalar, ko'p qatlamli AR aks ettirish plyonkasi, HR yuqori aks ettirish plyonkasi, rangli plyonka va boshqalarni tayyorlashi mumkin. Uskunalar juda keng qo'llanilish doirasiga ega va bir qatlamli plyonka yotqizish bir martalik plyonka yotqizish orqali amalga oshirilishi mumkin.
Uskunalar Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl va boshqalar kabi oddiy metall nishonlarni yoki SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO va boshqalar kabi aralash nishonlarni qabul qilishi mumkin.
Uskuna kichik o'lchamli, strukturaviy dizayni ixcham, pol maydoni kichik, energiya sarfi kam va sozlashda moslashuvchan. Jarayonlarni tadqiq qilish va ishlab chiqish yoki kichik partiyali ommaviy ishlab chiqarish uchun juda mos keladi.