Mfululizo huu wa vifaa hutumia shabaha za magnetron kubadilisha nyenzo za mipako kuwa chembe zenye ukubwa wa nanomita, ambazo huwekwa kwenye uso wa substrates ili kuunda filamu nyembamba. Filamu iliyokunjwa huwekwa kwenye chumba cha utupu. Kupitia muundo wa vilima unaoendeshwa kwa umeme, ncha moja hupokea filamu na nyingine huweka filamu. Inaendelea kupita katika eneo lengwa na hupokea chembe lengwa ili kuunda filamu mnene.
Sifa:
1. Uundaji wa filamu yenye joto la chini. Halijoto haina athari kubwa kwenye filamu na haitasababisha mabadiliko. Inafaa kwa PET, PI na filamu zingine za koili za nyenzo za msingi.
2. Unene wa filamu unaweza kubuniwa. Mipako nyembamba au nene inaweza kubuniwa na kuwekwa kwa marekebisho ya mchakato.
3. Ubunifu wa eneo lengwa nyingi, mchakato unaonyumbulika. Mashine nzima inaweza kuwa na shabaha nane, ambazo zinaweza kutumika kama shabaha rahisi za chuma au shabaha za kiwanja na oksidi. Inaweza kutumika kuandaa filamu za safu moja zenye muundo mmoja au filamu za safu nyingi zenye muundo mchanganyiko. Mchakato huu ni rahisi sana.
Vifaa vinaweza kuandaa filamu ya kinga ya sumakuumeme, mipako ya bodi ya mzunguko inayonyumbulika, filamu mbalimbali za dielectric, filamu ya kuzuia tafakari ya AR yenye safu nyingi, filamu ya kuzuia tafakari ya HR yenye kiwango cha juu, filamu ya rangi, n.k. vifaa vina matumizi mengi sana, na uwekaji wa filamu ya safu moja unaweza kukamilika kwa uwekaji wa filamu wa mara moja.
Vifaa vinaweza kutumia shabaha rahisi za chuma kama vile Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl, nk., au shabaha za kiwanja kama vile SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO, nk.
Vifaa hivyo ni vidogo kwa ukubwa, ni vidogo katika muundo wa muundo, ni vidogo katika eneo la sakafu, matumizi ya chini ya nishati, na vinaweza kubadilishwa kwa urahisi. Vinafaa sana kwa utafiti wa michakato na maendeleo au uzalishaji mdogo wa wingi.