MAELEZO YA BIDHAA
Mfululizo huu wa vifaa hutumia malengo ya magnetron kubadilisha nyenzo za mipako kuwa chembe za ukubwa wa nanometer, ambazo huwekwa kwenye uso wa substrates ili kuunda filamu nyembamba.Filamu iliyovingirwa imewekwa kwenye chumba cha utupu.Kupitia muundo wa vilima unaoendeshwa na umeme, mwisho mmoja hupokea filamu na mwingine huweka filamu.Inaendelea kupita katika eneo lengwa na kupokea chembe zinazolengwa kuunda filamu mnene.
Tabia:
1. Uundaji wa filamu ya joto la chini.Joto lina athari kidogo kwenye filamu na haitatoa deformation.Inafaa kwa PET, PI na filamu zingine za msingi za coil.
2. Unene wa filamu unaweza kuundwa.Mipako nyembamba au nene inaweza kuundwa na kuwekwa kwa marekebisho ya mchakato.
3. Muundo wa eneo lengwa nyingi, mchakato unaonyumbulika.Mashine nzima inaweza kuwa na shabaha nane, ambazo zinaweza kutumika kama shabaha rahisi za chuma au shabaha za kiwanja na oksidi.Inaweza kutumika kuandaa filamu za safu moja na muundo mmoja au filamu za safu nyingi na muundo wa mchanganyiko.Mchakato ni rahisi sana.
Vifaa vinaweza kuandaa filamu ya kinga ya sumakuumeme, mipako ya bodi ya mzunguko inayonyumbulika, filamu mbalimbali za dielectric, filamu ya safu nyingi ya antireflection ya AR, filamu ya kizuia tafakari ya juu ya HR, filamu ya rangi, n.k. vifaa vina anuwai ya matumizi, na uwekaji wa filamu ya safu moja. inaweza kukamilika kwa utuaji wa filamu ya wakati mmoja.
Vifaa vinaweza kupitisha shabaha rahisi za chuma kama vile Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl, n.k., au shabaha kiwanja kama vile SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO, n.k.
Vifaa ni ndogo kwa ukubwa, kompakt katika muundo wa muundo, ndogo katika eneo la sakafu, matumizi ya chini ya nishati, na rahisi katika marekebisho.Inafaa sana kwa utafiti wa mchakato na maendeleo au uzalishaji wa kundi dogo.
Mifano ya hiari
| RCW350 | RCW600 |
| Upana 350(mm)
| Upana 600(mm)
|
VIFAA JAMAA
Bofya Tazama
Uviringo wa kuviringisha mipako ya filamu ya macho ya magnetron sawa...
Vifaa vya kufunika vilima vya Magnetron ni kutumia njia ya kunyunyiza magnetron kubadilisha nyenzo ya upakaji kuwa hali ya gesi au ioni katika mazingira ya utupu, na kisha kuiweka kwenye sehemu ya kazi...
Vifaa vya mipako ya vilima vya uvukizi wa usawa
Msururu huu wa vifaa hubadilisha nyenzo za kupaka zenye kiwango cha chini cha myeyuko na kwa urahisi kuyeyuka kuwa chembe za nano kwa kupasha joto kwenye tanuru ya uingizaji wa masafa ya kati au molybden ya uvukizi...
Roli ya majaribio ya kuweka vifaa vya mipako
Majaribio ya vifaa vya kuweka mipako yanachukua teknolojia ya upakaji inayochanganya kunyunyiza kwa magnetron na safu ya cathode, ambayo inakidhi mahitaji ya ushikamano wa filamu na ionizati ya juu...
Vifaa maalum vya mipako ya vilima kwa resi ya juu ...
Katika hali ya utupu, weka workpiece kwenye cathode ya kutokwa kwa mwanga wa chini ya shinikizo na kuingiza gesi inayofaa.Kwa joto fulani, mipako hupatikana kwenye uso wa kiboreshaji ...