Deze apparatuur maakt gebruik van magnetrontargets om coatingmaterialen om te zetten in nanometergrote deeltjes, die vervolgens op het oppervlak van substraten worden afgezet om dunne films te vormen. De opgerolde film wordt in de vacuümkamer geplaatst. Via een elektrisch aangedreven wikkelmechanisme wordt de film aan het ene uiteinde opgenomen en aan het andere uiteinde afgevoerd. De film beweegt vervolgens door het targetgebied en neemt de targetdeeltjes op om een dichte film te vormen.
Kenmerk:
1. Filmvorming bij lage temperatuur. De temperatuur heeft weinig invloed op de film en veroorzaakt geen vervorming. Geschikt voor PET-, PI- en andere basismateriaalfilms op rol.
2. De filmdikte kan worden aangepast. Dunne of dikke coatings kunnen worden ontworpen en aangebracht door het proces te optimaliseren.
3. Ontwerp met meerdere doellocaties, flexibel proces. De gehele machine kan worden uitgerust met acht doelen, die kunnen worden gebruikt als eenvoudige metalen doelen of als samengestelde en oxide doelen. Het kan worden gebruikt voor de productie van enkellaagse films met een enkele structuur of meerlaagse films met een samengestelde structuur. Het proces is zeer flexibel.
De apparatuur kan elektromagnetische afschermingsfolie, coating voor flexibele printplaten, diverse diëlektrische folies, meerlaagse AR-antireflectiefolie, HR-antireflectiefolie, kleurenfolie, enz. produceren. De apparatuur heeft een zeer breed toepassingsgebied en het aanbrengen van een enkele laag folie kan in één keer worden voltooid.
De apparatuur kan gebruikmaken van eenvoudige metalen targets zoals Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl, enz., of samengestelde targets zoals SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO, enz.
De apparatuur is klein van formaat, compact van ontwerp, neemt weinig vloeroppervlak in beslag, heeft een laag energieverbruik en is flexibel instelbaar. Het is zeer geschikt voor procesonderzoek en -ontwikkeling of kleine serieproductie.