RCW600

Questa serie di apparecchiature utilizza bersagli magnetron per convertire i materiali di rivestimento in particelle di dimensioni nanometriche, che vengono depositate sulla superficie dei substrati per formare pellicole sottili.Il film arrotolato viene posto nella camera a vuoto.Attraverso la struttura di avvolgimento azionata elettricamente, un'estremità riceve il film e l'altra mette il film.Continua a passare attraverso l'area bersaglio e riceve le particelle bersaglio per formare un film denso.
Caratteristica:

1. Formazione di film a bassa temperatura.La temperatura ha scarso effetto sul film e non produrrà deformazioni.È adatto per film in bobina di PET, PI e altri materiali di base.
2. Lo spessore del film può essere progettato.Rivestimenti sottili o spessi possono essere progettati e depositati mediante regolazione del processo.
3. Design della posizione di destinazione multipla, processo flessibile.L'intera macchina può essere equipaggiata con otto bersagli, che possono essere utilizzati sia come semplici bersagli metallici che come bersagli composti e di ossido.Può essere utilizzato per preparare film monostrato con struttura singola o film multistrato con struttura composita.Il processo è molto flessibile.

L'apparecchiatura può preparare film di schermatura elettromagnetica, rivestimento di circuiti stampati flessibili, vari film dielettrici, film antiriflesso AR multistrato, film antiriflesso ad alta HR, film a colori, ecc. L'apparecchiatura ha una gamma molto ampia di applicazioni e deposizione di film a strato singolo può essere completato da una deposizione di film una tantum.
L'apparecchiatura può adottare bersagli metallici semplici come Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl, ecc., o bersagli composti come SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO, ecc.

L'apparecchiatura è di piccole dimensioni, compatta nel design della struttura, di piccola superficie, a basso consumo energetico e flessibile nella regolazione.È molto adatto per la ricerca e lo sviluppo di processi o per la produzione di massa di piccoli lotti.