RCW600

Questa serie di apparecchiature utilizza bersagli a magnetron per convertire i materiali di rivestimento in particelle di dimensioni nanometriche, che vengono depositate sulla superficie dei substrati per formare film sottili. Il film arrotolato viene posizionato nella camera a vuoto. Attraverso una struttura di avvolgimento azionata elettricamente, un'estremità riceve il film e l'altra lo deposita. Il film continua a passare attraverso l'area del bersaglio e riceve le particelle bersaglio per formare un film denso.
Caratteristica:

1. Formazione di film a bassa temperatura. La temperatura ha un effetto minimo sul film e non provoca deformazioni. È adatto per film in bobina in PET, PI e altri materiali di base.
2. Lo spessore del film può essere progettato. È possibile progettare e depositare rivestimenti sottili o spessi mediante la regolazione del processo.
3. Design con posizionamento multiplo del target, processo flessibile. L'intera macchina può essere equipaggiata con otto target, utilizzabili sia come semplici target metallici che come target compositi e di ossido. Può essere utilizzata per preparare film monostrato con struttura singola o film multistrato con struttura composita. Il processo è estremamente flessibile.

L'apparecchiatura è in grado di preparare pellicole di schermatura elettromagnetica, rivestimenti per circuiti stampati flessibili, diverse pellicole dielettriche, pellicole antiriflesso AR multistrato, pellicole antiriflesso ad alta riflettività (HR), pellicole colorate, ecc. L'apparecchiatura ha una gamma di applicazioni molto ampia e la deposizione di pellicole monostrato può essere completata con un'unica deposizione.
L'apparecchiatura può utilizzare target metallici semplici come Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl, ecc., oppure target composti come SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO, ecc.

L'apparecchiatura è di dimensioni ridotte, ha una struttura compatta, occupa poco spazio, consuma poca energia ed è flessibile nelle regolazioni. È particolarmente adatta per la ricerca e lo sviluppo di processi o per la produzione di massa di piccoli lotti.