Àwọn ẹ̀rọ yìí ń lo àwọn ibi tí wọ́n ń lò láti yí àwọn ohun èlò ìbòrí padà sí àwọn èròjà nanometer, tí wọ́n sì ń gbé sórí ojú àwọn ohun èlò tín-tìn-tín. A gbé fíìmù tí a yípo náà sí yàrá afẹ́fẹ́. Nípasẹ̀ ètò ìyípo tí a fi iná mànàmáná ṣe, apá kan gba fíìmù náà, èkejì sì ń gbé fíìmù náà. Ó ń bá a lọ láti gba agbègbè tí a fẹ́ lò ó, ó sì ń gba àwọn èròjà tí a fẹ́ lò láti ṣẹ̀dá fíìmù tí ó nípọn.
Àwọn ànímọ́:
1. Fíìmù tí ó ní ìwọ̀n otútù díẹ̀. Ìwọ̀n otútù náà kò ní ipa púpọ̀ lórí fíìmù náà, kò sì ní fa ìyípadà. Ó dára fún PET, PI àti àwọn fíìmù ìpìlẹ̀ mìíràn.
2. A le ṣe apẹrẹ sisanra fiimu naa. A le ṣe apẹrẹ awọn ibora tinrin tabi nipọn ati fi pamọ nipasẹ atunṣe ilana.
3. Apẹrẹ ipo ibi-afẹde pupọ, ilana ti o rọ. Gbogbo ẹrọ naa le ni awọn ibi-afẹde mẹjọ, eyiti a le lo gẹgẹbi awọn ibi-afẹde irin ti o rọrun tabi awọn ibi-afẹde compound ati oxide. A le lo lati mura awọn fiimu fẹlẹfẹlẹ kan pẹlu eto kan tabi awọn fiimu fẹlẹfẹlẹ pupọ pẹlu eto apapo. Ilana naa rọ pupọ.
Ẹ̀rọ náà lè pèsè fíìmù ààbò ẹ̀rọ itanna, ìbòrí pátákó circuit tó rọrùn, onírúurú fíìmù dielectric, fíìmù antireflection AR onípele púpọ̀, fíìmù antirefle ...
Àwọn ohun èlò náà lè lo àwọn ibi tí a lè fi irin ṣe bíi Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ, tàbí àwọn ibi tí a lè fi irin ṣe bíi SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ.
Ẹ̀rọ náà kéré ní ìwọ̀n, ó kéré ní ìrísí ìṣètò, ó kéré ní agbègbè ilẹ̀, ó kéré ní agbára, ó sì rọrùn láti ṣàtúnṣe. Ó dára gan-an fún ìwádìí àti ìdàgbàsókè iṣẹ́ tàbí ìṣẹ̀dá ìwọ̀n kékeré.