RCW600

Ang seryeng ito ng kagamitan ay gumagamit ng mga magnetron target upang gawing mga particle na kasinglaki ng nanometro ang mga materyales sa patong, na idinedeposito sa ibabaw ng mga substrate upang bumuo ng mga manipis na pelikula. Ang pinagsamang pelikula ay inilalagay sa vacuum chamber. Sa pamamagitan ng electrically driven winding structure, ang isang dulo ay tumatanggap ng pelikula at ang isa naman ay naglalagay ng pelikula. Patuloy itong dumadaan sa target area at tumatanggap ng mga particle na target upang bumuo ng isang siksik na pelikula.
Katangian:

1. Pagbuo ng pelikulang mababa ang temperatura. Kaunting epekto lang ng temperatura sa pelikula at hindi magdudulot ng deformasyon. Angkop ito para sa PET, PI at iba pang base material coil films.
2. Maaaring idisenyo ang kapal ng pelikula. Ang manipis o makapal na patong ay maaaring idisenyo at ideposito sa pamamagitan ng pagsasaayos ng proseso.
3. Disenyo ng lokasyon ng maraming target, prosesong may kakayahang umangkop. Ang buong makina ay maaaring may walong target, na maaaring gamitin bilang mga simpleng target na metal o mga target na compound at oxide. Maaari itong gamitin upang maghanda ng mga single-layer film na may iisang istraktura o mga multi-layer film na may composite structure. Ang proseso ay lubos na kakayahang umangkop.

Ang kagamitan ay maaaring maghanda ng electromagnetic shielding film, flexible circuit board coating, iba't ibang dielectric films, multi-layer AR antireflection film, HR high antireflection film, color film, atbp. Ang kagamitan ay may napakalawak na hanay ng mga aplikasyon, at ang single-layer film deposition ay maaaring makumpleto sa pamamagitan ng isang beses na film deposition.
Ang kagamitan ay maaaring gumamit ng mga simpleng metal na target tulad ng Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl, atbp., o mga compound na target tulad ng SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO, atbp.

Maliit ang laki ng kagamitan, siksik sa disenyo ng istraktura, maliit sa lawak ng sahig, mababa sa konsumo ng enerhiya, at nababaluktot sa pagsasaayos. Ito ay lubos na angkop para sa pananaliksik at pagpapaunlad ng proseso o maliit na batch ng malawakang produksyon.