RCW600

В этой серии оборудования используются магнетронные мишени для преобразования материалов покрытий в частицы нанометрового размера, которые осаждаются на поверхности подложек с образованием тонких пленок.Свернутая пленка помещается в вакуумную камеру.Через электрически управляемую структуру обмотки один конец получает пленку, а другой укладывает пленку.Он продолжает проходить через целевую область и принимает целевые частицы, образуя плотную пленку.
Характеристика:

1. Низкотемпературное пленкообразование.Температура мало влияет на пленку и не вызывает деформации.Он подходит для рулонных пленок из ПЭТ, ПИ и других основных материалов.
2. Толщина пленки может быть спроектирована.Тонкие или толстые покрытия могут быть разработаны и нанесены путем настройки процесса.
3. Дизайн с несколькими целевыми локациями, гибкий процесс.Вся машина может быть оснащена восемью мишенями, которые могут использоваться либо как простые металлические мишени, либо как составные и оксидные мишени.Его можно использовать для получения однослойных пленок с одинарной структурой или многослойных пленок с композитной структурой.Процесс очень гибкий.

Оборудование может изготавливать электромагнитную экранирующую пленку, гибкое покрытие печатной платы, различные диэлектрические пленки, многослойную антибликовую пленку AR, высокопросветляющую пленку HR, цветную пленку и т. д. Оборудование имеет очень широкий спектр применения, а также нанесение однослойной пленки. может быть завершена одноразовым нанесением пленки.
Оборудование может использовать простые металлические мишени, такие как Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl и т. д., или составные мишени, такие как SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO и т. д.

Оборудование имеет небольшие размеры, компактную конструкцию, небольшую площадь, низкое энергопотребление и гибкость в настройке.Он очень подходит для технологических исследований и разработок или мелкосерийного массового производства.