RCW600

이 장비 시리즈는 마그네트론 타겟을 사용하여 코팅 재료를 나노미터 크기의 입자로 변환하고, 이 입자들을 기판 표면에 증착시켜 박막을 형성합니다. 롤 형태의 필름은 진공 챔버에 넣고, 전기 구동식 권선 구조를 통해 한쪽 끝은 필름을 받아들이고 다른 쪽 끝은 필름을 배출합니다. 필름은 타겟 영역을 계속 통과하면서 타겟 입자를 받아 치밀한 박막을 형성합니다.
특성:

1. 저온 필름 성형. 온도가 필름에 미치는 영향이 미미하고 변형이 발생하지 않습니다. PET, PI 및 기타 기판 소재 코일 필름에 적합합니다.
2. 필름 두께를 설계할 수 있습니다. 공정 조정을 통해 얇거나 두꺼운 코팅을 설계하고 증착할 수 있습니다.
3. 다중 타겟 위치 설계로 유연한 공정 구현. 본 장비는 최대 8개의 타겟을 장착할 수 있으며, 단순 금속 타겟 또는 복합/산화물 타겟으로 사용 가능합니다. 단일 구조의 단층막 또는 복합 구조의 다층막을 제작할 수 있어 공정의 유연성이 뛰어납니다.

이 장비는 전자기 차폐막, 연성 회로 기판 코팅, 다양한 유전체 필름, 다층 AR 반사 방지 필름, HR 고반사 방지 필름, 컬러 필름 등을 제작할 수 있으며, 적용 범위가 매우 넓습니다. 특히 단층 필름 증착은 한 번의 증착으로 완료할 수 있습니다.
이 장비는 Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl 등과 같은 단순 금속 타겟이나 SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO 등과 같은 복합 타겟을 사용할 수 있습니다.

이 장비는 크기가 작고 구조 설계가 콤팩트하며 설치 공간을 적게 차지하고 에너지 소비량이 낮으며 조정이 유연합니다. 따라서 공정 연구 개발이나 소량 생산에 매우 적합합니다.