真空状態において、ワークピースを低圧グロー放電の陰極上に置き、適切なガスを注入する。一定温度において、化学反応とプラズマを組み合わせたイオン化重合プロセスを用いてワークピース表面にコーティングを形成する。この際、気体状物質がワークピース表面に吸着して反応し、最終的に固体膜が形成され、ワークピース表面に堆積する。
特性:
1. 低温フィルム成形では、温度がワークピースに与える影響が少なく、高温フィルム成形の粗粒化を回避でき、フィルム層が剥がれにくい。
2. 均一な組成、優れたバリア効果、緻密性、小さな内部応力、微細亀裂が発生しにくい厚膜でコーティングできます。
3. プラズマ処理には洗浄効果があり、フィルムの密着性を向上させます。
この装置は主に、PET、PA、PPなどのフィルム材料にSiOx高耐性バリアをコーティングするために使用されます。医療・医薬品包装、電子部品、食品包装、飲料、脂肪分の多い食品、食用油の包装容器などに幅広く使用されています。このフィルムは、優れたバリア性、環境適応性、高いマイクロ波透過性、透明性を備え、環境湿度や温度変化の影響をほとんど受けません。従来の包装材料が健康に及ぼす可能性のある問題を解決します。
| オプションモデル | 機器のサイズ(幅) |
| RBW1250 | 1250(mm) |