RCW600

Bu ekipman serisi, kaplama malzemelerini nanometre boyutunda parçacıklara dönüştürmek için magnetron hedefleri kullanır; bu parçacıklar, ince filmler oluşturmak üzere alt tabakaların yüzeyine biriktirilir. Rulo halindeki film vakum odasına yerleştirilir. Elektrikle çalışan sarma yapısı sayesinde, bir uç filmi alır, diğer uç ise filmi yerleştirir. Film, hedef alanından geçmeye devam eder ve hedef parçacıkları alarak yoğun bir film oluşturur.
Özellik:

1. Düşük sıcaklıkta film oluşturma. Sıcaklığın film üzerinde çok az etkisi vardır ve deformasyona neden olmaz. PET, PI ve diğer baz malzeme rulo filmleri için uygundur.
2. Film kalınlığı tasarlanabilir. İşlem ayarlamasıyla ince veya kalın kaplamalar tasarlanabilir ve uygulanabilir.
3. Çoklu hedef konum tasarımı, esnek işlem. Makineye sekiz farklı hedef takılabilir; bunlar basit metal hedefler veya bileşik ve oksit hedefler olarak kullanılabilir. Tek katmanlı tek yapılı filmler veya kompozit yapılı çok katmanlı filmler hazırlamak için kullanılabilir. İşlem son derece esnektir.

Bu ekipman, elektromanyetik koruma filmi, esnek devre kartı kaplaması, çeşitli dielektrik filmler, çok katmanlı AR yansıma önleyici film, HR yüksek yansıma önleyici film, renkli film vb. hazırlayabilir. Ekipmanın çok geniş bir uygulama alanı vardır ve tek katmanlı film kaplaması tek seferde tamamlanabilir.
Bu ekipman, Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl vb. gibi basit metal hedefleri veya SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO vb. gibi bileşik hedefleri kullanabilir.

Bu ekipman küçük boyutlu, kompakt yapı tasarımına sahip, az yer kaplayan, düşük enerji tüketimli ve ayarlanabilirliği esnektir. Proses araştırma ve geliştirme veya küçük ölçekli seri üretim için çok uygundur.