RCW600

Loạt thiết bị này sử dụng các mục tiêu từ trường để chuyển đổi vật liệu phủ thành các hạt có kích thước nanomet, được lắng đọng trên bề mặt chất nền để tạo thành màng mỏng.Màng cuộn được đặt trong buồng chân không.Thông qua cấu trúc cuộn dây dẫn động bằng điện, một đầu nhận phim và đầu kia đặt phim.Nó tiếp tục đi qua khu vực mục tiêu và nhận các hạt mục tiêu để tạo thành một màng dày đặc.
đặc trưng:

1. Tạo màng ở nhiệt độ thấp.Nhiệt độ ít ảnh hưởng đến màng và sẽ không tạo ra biến dạng.Nó phù hợp với PET, PI và các màng cuộn vật liệu cơ bản khác.
2. Độ dày màng có thể được thiết kế.Lớp phủ mỏng hoặc dày có thể được thiết kế và lắng đọng bằng cách điều chỉnh quy trình.
3. Thiết kế nhiều vị trí mục tiêu, quy trình linh hoạt.Toàn bộ máy có thể được trang bị tám mục tiêu, có thể được sử dụng làm mục tiêu kim loại đơn giản hoặc mục tiêu hỗn hợp và oxit.Nó có thể được sử dụng để chuẩn bị màng một lớp với cấu trúc đơn hoặc màng nhiều lớp với cấu trúc phức hợp.Quá trình này rất linh hoạt.

Thiết bị có thể chuẩn bị màng chắn điện từ, lớp phủ bảng mạch linh hoạt, các loại màng điện môi khác nhau, màng chống phản xạ AR nhiều lớp, màng chống phản xạ cao HR, phim màu, v.v. thiết bị có nhiều ứng dụng và lắng đọng màng một lớp có thể được hoàn thành bằng cách lắng đọng phim một lần.
Thiết bị có thể sử dụng các mục tiêu kim loại đơn giản như Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl, v.v. hoặc các mục tiêu hỗn hợp như SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO, v.v.

Thiết bị có kích thước nhỏ, thiết kế cấu trúc nhỏ gọn, diện tích sàn nhỏ, tiêu thụ năng lượng thấp và điều chỉnh linh hoạt.Nó rất thích hợp cho quá trình nghiên cứu và phát triển hoặc sản xuất hàng loạt nhỏ.