RCW600

Hệ thống thiết bị này sử dụng các mục tiêu magnetron để chuyển đổi vật liệu phủ thành các hạt có kích thước nanomet, sau đó được lắng đọng trên bề mặt chất nền để tạo thành màng mỏng. Màng cuộn được đặt trong buồng chân không. Thông qua cấu trúc cuộn dây dẫn động bằng điện, một đầu nhận màng và đầu kia đẩy màng ra. Nó tiếp tục đi qua vùng mục tiêu và nhận các hạt mục tiêu để tạo thành một lớp màng dày đặc.
Đặc điểm:

1. Tạo màng ở nhiệt độ thấp. Nhiệt độ ít ảnh hưởng đến màng và sẽ không gây biến dạng. Phương pháp này thích hợp cho màng cuộn làm từ PET, PI và các vật liệu nền khác.
2. Độ dày màng phim có thể được thiết kế. Có thể thiết kế và tạo ra các lớp phủ mỏng hoặc dày bằng cách điều chỉnh quy trình.
3. Thiết kế nhiều vị trí mục tiêu, quy trình linh hoạt. Toàn bộ máy có thể được trang bị tám mục tiêu, có thể được sử dụng làm mục tiêu kim loại đơn giản hoặc mục tiêu hợp chất và oxit. Nó có thể được sử dụng để chế tạo màng đơn lớp có cấu trúc đơn hoặc màng đa lớp có cấu trúc phức hợp. Quy trình rất linh hoạt.

Thiết bị này có thể chế tạo màng chắn điện từ, lớp phủ mạch in linh hoạt, các loại màng điện môi khác nhau, màng chống phản xạ AR nhiều lớp, màng chống phản xạ cao HR, màng màu, v.v. Thiết bị có phạm vi ứng dụng rất rộng và có thể hoàn thành việc lắng đọng màng đơn lớp chỉ trong một lần.
Thiết bị có thể sử dụng các mục tiêu kim loại đơn giản như Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl, v.v., hoặc các mục tiêu hợp chất như SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO, v.v.

Thiết bị có kích thước nhỏ gọn, thiết kế cấu trúc nhỏ, chiếm ít diện tích, tiêu thụ năng lượng thấp và dễ điều chỉnh. Rất phù hợp cho nghiên cứu và phát triển quy trình hoặc sản xuất hàng loạt theo lô nhỏ.