RCW600

Bu enjamlar tapgyry magnetron nyşanalaryny ulanyp, örtük materiallaryny nanometr ölçegli bölejiklere öwürýär, olar bolsa substratlaryň ýüzüne ýerleşdirilip, inçe plyonkalary emele getirýär. Öwrülýän plyonka wakuum kamerasyna ýerleşdirilýär. Elektrik bilen işleýän sargy gurluşy arkaly bir ujy plyonkany kabul edýär, beýleki ujy bolsa plyonkany goýýar. Ol nyşana meýdanyndan geçip, dykyz plyonka emele getirmek üçin nyşana bölejiklerini kabul edýär.
Häsiýeti:

1. Pes temperatura plýonka emele getirmek. Temperatura plýonka az täsir edýär we deformasiýa döretmeýär. PET, PI we beýleki esasy material spiral plýonkalar üçin amatlydyr.
2. Plenkanyň galyňlygyny dizaýn edip bolýar. Inçe ýa-da galyň örtükler proses sazlamak arkaly dizaýn edilip we goýulyp bilner.
3. Köp nyşana ýerleşýän ýeriň dizaýny, çeýe proses. Tutuş maşyn sekiz nyşana bilen enjamlaşdyrylyp bilner, olar ýa ýönekeý metal nyşanalary, ýa-da birleşme we oksid nyşanalary hökmünde ulanylyp bilner. Ol ýalňyz gurluşly bir gatlakly plýonkalary ýa-da birleşme gurluşly köp gatlakly plýonkalary taýýarlamak üçin ulanylyp bilner. Bu proses örän çeýedir.

Enjam elektromagnit gorag plýonkasyny, çeýe zynjyr plýonkasyny, dürli dielektrik plýonkalaryny, köp gatlakly AR şöhlelendiriji plýonkasyny, ýokary HR şöhlelendiriji plýonkasyny, reňkli plýonkany we ş.m. taýýarlap bilýär. Enjamyň ulanylyş ugurlary örän giň we bir gatlakly plýonkany bir gezeklik plýonkany goýmak arkaly tamamlanyp bilner.
Enjamlar Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl ýaly ýönekeý metal nyşanalary ýa-da SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO ýaly garyşyk nyşanalary kabul edip bilýär.

Enjam kiçi ölçegli, gurluş dizaýny boýunça ykjam, pol meýdany kiçi, energiýa sarp edilişi az we sazlamakda çeýe. Ol prosesleri öwrenmek we işläp düzmek ýa-da kiçi tapgyrly köpçülikleýin önümçilik üçin örän amatlydyr.