FA'AMATALAGA O OLOA
O lenei faasologa o masini e faʻaaogaina ai magnetron targets e liua ai mea ufiufi i ni nai nanometer le lapopoʻa, lea e faʻaputuina i luga o le fogāeleele o mea e fai ai ni ata manifinifi. O le ata ua fuli e tuʻu i totonu o le potu e faʻamamago ai le ea. E ala i le fausaga e faʻaviliviliina e le eletise, e maua ai e le tasi pito le ata ae tuʻu e le isi pito le ata. E faʻaauau pea ona ui atu i le vaega o loʻo faʻamoemoeina ma maua ai ni nai mea e faʻamoemoeina e fausia ai se ata mafiafia.
Uiga:
1. Fausiaina o le ata tifaga i le vevela maualalo. E itiiti se aafiaga o le vevela i le ata tifaga ma e le mafua ai ona fa'aleagaina. E talafeagai mo PET, PI ma isi ata tifaga o mea autu.
2. E mafai ona mamanuina le mafiafia o le ata tifaga. E mafai ona mamanuina ma fa'apipi'i ni ufiufi manifinifi pe mafiafia e ala i le fetu'una'iga o le fa'agasologa.
3. Fuafuaga o le tele o nofoaga e fa'atatau i ai, faiga e fetuutuunai. E mafai ona fa'apipi'iina le masini atoa i ni sini e valu, e mafai ona fa'aaogaina o ni sini u'amea faigofie po'o ni sini tu'ufa'atasi ma ni sini 'okesaita. E mafai ona fa'aaogaina e saunia ai ni ata tifaga e tasi le vaega ma le fausaga e tasi po'o ni ata tifaga e tele vaega ma le fausaga tu'ufa'atasi. E matua fetuutuunai lava le faiga.
E mafai e masini ona saunia le ata tifaga e puipuia ai le eletise, ufiufi o le laupapa matagaluega fetuutuunai, ata tifaga dielectric eseese, ata tifaga e tete'e atu i le atagia o le AR e tele vaega, ata tifaga e tete'e atu i le atagia o le HR e maualuga, ata tifaga lanu, ma isi mea faapena. E tele naua fa'aoga o lenei masini, ma e mafai ona fa'amae'aina le teuina o ata tifaga e tasi le vaega e ala i le teuina o ata tifaga e tasi.
E mafai e masini ona fa'aogaina ni u'amea faigofie e pei o le Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl, ma isi, po'o ni mea fa'apipi'i e pei o le SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO, ma isi.
E laʻititi le tele o le masini, laʻititi le mamanu o le fausaga, laʻititi le lautele o le fola, maualalo le faʻaaogaina o le malosi, ma fetuutuunai i le fetuʻunaʻiga. E matuā talafeagai lava mo suʻesuʻega ma atinaʻe o faiga poʻo le gaosiga tele i se vaega laʻititi.
Fa'ata'ita'iga filifiliga
| RCW350 | RCW600 |
| Lautele 350 (mm)
| Lautele 600 (mm)
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MEAFAIGALUEGA FA'ATASI
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