Бұл жабдықтар сериясы жабын материалдарын нанометрлік өлшемді бөлшектерге айналдыру үшін магнетронды нысаналарды пайдаланады, олар жұқа қабықшалар түзу үшін негіздердің бетіне жиналады. Орама қабықша вакуумдық камераға орналастырылады. Электрлік жетегі бар орама құрылымы арқылы бір ұшы қабықшаны қабылдайды, ал екінші ұшы қабықшаны салады. Ол нысана аймағынан өтіп, тығыз қабықша түзу үшін нысана бөлшектерін қабылдайды.
Сипаттамасы:
1. Төмен температуралы пленка қалыптастыру. Температура пленкаға аз әсер етеді және деформация тудырмайды. Ол PET, PI және басқа да негізгі материалдан жасалған катушка пленкаларына жарамды.
2. Пленка қалыңдығын жобалауға болады. Жұқа немесе қалың жабындарды процесті реттеу арқылы жобалауға және жағуға болады.
3. Бірнеше нысана орналасуын жобалау, икемді процесс. Бүкіл машина сегіз нысанамен жабдықталуы мүмкін, оларды қарапайым металл нысаналар немесе құрама және оксид нысаналары ретінде пайдалануға болады. Оны бір құрылымды бір қабатты пленкаларды немесе құрама құрылымды көп қабатты пленкаларды дайындау үшін пайдалануға болады. Процесс өте икемді.
Жабдық электромагниттік экрандау пленкасын, икемді схемалық тақта жабынын, әртүрлі диэлектрлік пленкаларды, көп қабатты AR шағылыстыруға қарсы пленканы, HR жоғары шағылыстыруға қарсы пленканы, түрлі-түсті пленканы және т.б. дайындай алады. Жабдықтың қолданылу аясы өте кең, ал бір қабатты пленканы бір реттік пленкамен жабу арқылы аяқтауға болады.
Жабдық Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl және т.б. сияқты қарапайым металл нысандарды немесе SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO және т.б. сияқты күрделі нысандарды қабылдай алады.
Жабдықтың көлемі шағын, құрылымдық дизайны ықшам, еден ауданы шағын, энергияны аз тұтынады және реттеу икемді. Ол технологиялық зерттеулер мен әзірлемелерге немесе шағын сериялы жаппай өндіріске өте қолайлы.