RCW600

Бул жабдуулар сериясы каптоо материалдарын нанометр өлчөмүндөгү бөлүкчөлөргө айландыруу үчүн магнетрондук буталарды колдонот, алар жука пленкаларды түзүү үчүн субстраттардын бетине чөктүрүлөт. Оролгон пленка вакуумдук камерага жайгаштырылат. Электр менен башкарылуучу ороо түзүлүшү аркылуу бир учу пленканы кабыл алат, ал эми экинчи учу пленканы коёт. Ал максаттуу аймак аркылуу өтүп, тыгыз пленка түзүү үчүн максаттуу бөлүкчөлөрдү кабыл алат.
Мүнөздүү:

1. Төмөн температурадагы пленка түзүү. Температура пленкага анчалык деле таасир этпейт жана деформацияны пайда кылбайт. Ал ПЭТ, PI жана башка негизги материалдык катушка пленкаларына ылайыктуу.
2. Плёнканын калыңдыгын долбоорлоого болот. Жука же калың каптамаларды долбоорлоого жана процессти тууралоо аркылуу коюуга болот.
3. Бир нече бута жайгашкан жерди долбоорлоо, ийкемдүү процесс. Бүтүндөй машина сегиз бута менен жабдылышы мүмкүн, аларды жөнөкөй металл буталары же кошулма жана кычкыл буталары катары колдонсо болот. Аны бир түзүлүштүү бир катмарлуу пленкаларды же курама түзүлүштүү көп катмарлуу пленкаларды даярдоо үчүн колдонсо болот. Процесс абдан ийкемдүү.

Жабдуулар электромагниттик коргоочу пленканы, ийкемдүү схемалык платаны каптоону, ар кандай диэлектрикалык пленкаларды, көп катмарлуу AR чагылдырууга каршы пленканы, HR жогорку чагылдырууга каршы пленканы, түстүү пленканы ж.б. даярдай алат. Жабдуулардын колдонуу чөйрөсү абдан кеңири, ал эми бир катмарлуу пленканы бир жолку пленка менен жабуу менен бүткөрүлүшү мүмкүн.
Жабдуулар Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl ж.б. сыяктуу жөнөкөй металл буталарды же SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO ж.б. сыяктуу татаал буталарды кабыл ала алат.

Жабдуулардын көлөмү кичине, түзүлүшү компакттуу, аянты кичине, энергияны аз сарптайт жана жөндөөдө ийкемдүү. Ал процесстерди изилдөө жана иштеп чыгуу же чакан партия менен массалык өндүрүш үчүн абдан ылайыктуу.