RCW600

סדרת ציוד זו משתמשת ביעדי מגנטרון כדי להמיר חומרי ציפוי לחלקיקים בגודל ננומטר, המופקדים על פני המצעים ליצירת סרטים דקים.הסרט המגולגל ממוקם בתא הוואקום.דרך המבנה המתפתל המונע חשמלית, קצה אחד מקבל את הסרט והשני מניח את הסרט.הוא ממשיך לעבור דרך אזור המטרה ומקבל את חלקיקי המטרה ליצירת סרט צפוף.
מאפיין:

1. יצירת סרט בטמפרטורה נמוכה.לטמפרטורה יש השפעה מועטה על הסרט והיא לא תיצור דפורמציה.זה מתאים לסרטי סליל PET, PI וחומר בסיס אחר.
2. ניתן לעצב את עובי הסרט.ניתן לעצב ולהציב ציפויים דקים או עבים על ידי התאמת תהליך.
3. עיצוב מיקום יעד מרובה, תהליך גמיש.המכונה כולה יכולה להיות מצוידת בשמונה מטרות, שיכולות לשמש כמטרות מתכת פשוטות או כמטרות מורכבות ותחמוצת.זה יכול לשמש להכנת סרטים חד-שכבתיים עם מבנה יחיד או סרטים רב-שכבתיים עם מבנה מורכב.התהליך מאוד גמיש.

הציוד יכול להכין סרט מיגון אלקטרומגנטי, ציפוי מעגלים גמישים, סרטים דיאלקטריים שונים, סרט נגד השתקפות AR רב שכבתי, סרט אנטי השתקפות גבוה HR, סרט צבעוני וכו'. לציוד מגוון רחב מאוד של יישומים, ותצהיר סרט חד-שכבתי ניתן להשלים על ידי הפקדת סרט חד פעמית.
הציוד יכול לאמץ מטרות מתכת פשוטות כגון Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl וכו', או מטרות מורכבות כגון SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO וכו'.

הציוד קטן במידותיו, קומפקטי בעיצוב המבנה, קטן בשטח הרצפה, צריכת אנרגיה נמוכה וגמיש בהתאמה.זה מתאים מאוד למחקר ופיתוח תהליכים או לייצור המוני באצווה קטנה.