Usoro ngwaọrụ a na-eji ihe mgbaru ọsọ magnetron agbanwe ihe mkpuchi ka ọ bụrụ ihe nha nanometer, nke a na-etinye n'elu ihe ndị dị n'elu ala iji mepụta ihe nkiri dị gịrịgịrị. A na-etinye ihe nkiri a kpọchiri akpọchi n'ime ụlọ ikuku. Site na nhazi nke na-agbagharị ọkụ eletrik, otu nsọtụ na-enweta ihe nkiri ahụ, nke ọzọ na-etinye ihe nkiri ahụ. Ọ na-aga n'ihu na-agafe ebe ebumnuche ahụ ma na-enweta ihe mgbaru ọsọ ahụ iji mepụta ihe nkiri dị oke.
Njirimara:
1. Ọ na-etolite obere okpomọkụ. Okpomọkụ ahụ anaghị emetụta fim ahụ nke ọma, ọ gaghịkwa akpata mgbanwe. Ọ dabara adaba maka PET, PI na ihe nkiri ndị ọzọ e ji ihe ndị dị n'ime ya rụọ.
2. Enwere ike ịhazi ọkpụrụkpụ ihe nkiri ahụ. Enwere ike ịhazi ma tinye mkpuchi dị gịrịgịrị ma ọ bụ dị arọ site na nhazi usoro.
3. Nhazi ebe a na-elekwasị anya dị iche iche, usoro mgbanwe. Enwere ike iji igwe ahụ dum mee ihe mgbaru ọsọ asatọ, nke enwere ike iji dị ka ihe mgbaru ọsọ ígwè dị mfe ma ọ bụ ihe mgbaru ọsọ compound na oxide. Enwere ike iji ya kwadebe ihe nkiri otu oyi akwa nwere otu nhazi ma ọ bụ ihe nkiri ọtụtụ oyi akwa nwere nhazi mejupụtara. Usoro a na-agbanwe agbanwe nke ukwuu.
Ngwa ndị a nwere ike ịkwadebe ihe nkiri nchekwa eletrọnịkị, mkpuchi bọọdụ sekit na-agbanwe agbanwe, ihe nkiri dielectric dị iche iche, ihe nkiri AR antireflection dị iche iche, ihe nkiri HR dị elu na-egbochi ntụgharị uche, ihe nkiri agba, wdg. Ngwa ndị a nwere ọtụtụ ngwa dị iche iche, enwere ike imecha ihe nkiri otu oyi akwa site na ihe nkiri otu oge.
Ngwa ndị a nwere ike iji ihe mgbaru ọsọ ígwè dị mfe dịka Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl, wdg, ma ọ bụ ihe mgbaru ọsọ ndị mejupụtara dịka SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO, wdg.
Ngwa a dị obere, ọ dị obere n'ime nhazi ya, ọ dị obere n'ala ya, ọ na-eri ike dị ala, ọ dịkwa mfe ịgbanwe agbanwe. Ọ dabara nke ọma maka nyocha na mmepe usoro ma ọ bụ obere mmepụta nke ọtụtụ ihe.